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如圖2與圖9所示,蓋板335的頂壁為平整表面,頂壁**設(shè)有矩狀陣列的吸氣孔332,蓋板335的邊緣處設(shè)有一圈凹槽,凹槽內(nèi)也同樣分布有一圈吸氣孔332。該吸氣孔332陣列的**具有被吸氣孔332環(huán)繞的方形中心孔333。蓋板335的底面上設(shè)有限位凹腔337以及貫穿蓋板335的限位孔338,該限位孔338為腰形孔。如圖1及圖7所示,該支撐筒320的外壁上設(shè)有氣嘴321,支撐筒320內(nèi)設(shè)有連通氣嘴321與支撐筒320頂壁的***氣道322,***氣道322連通殼筒334內(nèi)。使用時(shí),氣嘴321吸氣,在蓋板335的凹槽和吸氣孔3332陣列處形成局部真空,使真空吸頭330能夠牢固的吸附住粘性膜。如圖4與圖6所示,頂升頭400安裝于真空吸頭300內(nèi),其包括頂塊500、限位塊441、導(dǎo)桿442以及限位彈簧440。如圖2與圖6所示,該頂塊500呈方形階梯狀結(jié)構(gòu),其從下至上依次包括尺寸漸小的底部520、中部530與頂部540。頂部540為方形結(jié)構(gòu),其能夠從真空吸頭330的中心孔333中穿出,頂部540的頂壁頂端具有方形凹腔541,該凹腔541的輪廓與芯片的輪廓一致。該凹腔541與該進(jìn)氣機(jī)構(gòu)相連通。如圖6所示,導(dǎo)桿442穿設(shè)在頂塊500底部520四角的限位孔中,導(dǎo)桿442底端從頂塊500底部520伸出,導(dǎo)桿442底端設(shè)有對(duì)頂塊500進(jìn)行限位的螺栓頭。南京頂針名言蘇州昕昀科技有限公司是一家專業(yè)從事環(huán)境檢測(cè)設(shè)備、力學(xué)檢測(cè)設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售服務(wù)的****。
本實(shí)用新型涉及裝片裝置,具體而言,涉及一種球面頂針帽。背景技術(shù):芯片裝片過(guò)程中,需要頂針帽吸附放置有芯片的貼片膜,頂針帽的帽體內(nèi)部設(shè)置有頂針,用于將需要吸取的芯片頂出一定距離以便于芯片被吸取。傳統(tǒng)的頂針帽的帽蓋分為兩種:一種為帶有環(huán)形溝槽的帽蓋,另一種為平面帶孔帽蓋,但對(duì)于這兩種帽蓋面對(duì)貼膜粘性較大時(shí)均需要頂針用較大的頂出高度來(lái)提供足夠的能量使芯片和貼膜分離,但是當(dāng)出現(xiàn)較大的頂出高度時(shí),相鄰的芯片之間易發(fā)生碰撞造成芯片邊緣崩裂;再者,對(duì)于芯片尺寸較大時(shí)或貼膜粘性不穩(wěn)定時(shí),芯片不易拾取,勉強(qiáng)拾取時(shí),芯片發(fā)生旋轉(zhuǎn)或移位,造成芯片懸掛,為了穩(wěn)定的拾取芯片,不得不降低速度,損失機(jī)器產(chǎn)能。公開號(hào)為cnu的中國(guó)實(shí)用新型**,具體公開了一種裝片機(jī)頂針,其帽蓋為光滑平面結(jié)構(gòu),當(dāng)貼膜粘度較大時(shí)或者芯片尺寸較大時(shí),不能有效的使芯片與底部貼膜分離。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的目的在于提供一種球面頂針帽,通過(guò)改變傳統(tǒng)帽蓋的結(jié)構(gòu)使頂針帽能有效的分離芯片和底部貼膜。本實(shí)用新型的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種球面頂針帽,包括用于容置頂針的帽體,帽體一端設(shè)有帽蓋,帽蓋為球缺且其球冠頂點(diǎn)凸出于帽體。
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術(shù):在半導(dǎo)體芯片的制作過(guò)程中,整個(gè)晶圓制作完成后,首先需要把晶圓貼到粘性膜上,進(jìn)行劃片,把晶圓切割成一顆顆單獨(dú)芯片,之后需要把單獨(dú)的芯片從粘性膜上取下來(lái),轉(zhuǎn)入托盤,料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過(guò)程中,因?yàn)槟び姓承?,直接用吸嘴從膜上吸取,真空力無(wú)法克服膜的粘力,取不下來(lái)。需要把芯片從膜上頂起來(lái),使芯片的大部分與膜脫離,只剩下很下的部分還和膜粘著,這樣吸嘴從上面吸取芯片,所需要克服的粘力就很小了,就可以很順利的把芯片吸走了?,F(xiàn)有的把芯片從膜上頂升,讓芯片和膜剝離的方法,主要是頂針的方法,芯片頂升時(shí),頂升座用真空吸附住膜,從芯片的正下方,頂起一根或多根,頂針前端磨細(xì),針尖做成圓弧,保證既可以減少接觸面積,又不會(huì)頂破膜。頂針頂升時(shí),因?yàn)橹苓叺哪け徽婵瘴皆谙旅娴捻斏?,只有頂針冒出把芯片頂升,芯片周邊的膜?huì)從芯片上剝離開,只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片,這樣膜的粘力就很弱了,上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法,可以對(duì)應(yīng)厚度超過(guò)100微米的芯片,厚的芯片,剛性比較好,頂針頂升時(shí)。通過(guò)粘性膜的運(yùn)動(dòng)使粘性膜上的芯片對(duì)準(zhǔn)頂升頭400上的凹腔541,角度一致。
設(shè)于所述頂升頭中且連通所述凹腔與所述第二氣道的第三氣道。從而能夠通過(guò)氣管接頭實(shí)現(xiàn)對(duì)凹腔的充放氣。作為本發(fā)明的推薦實(shí)施方式,所述進(jìn)氣機(jī)構(gòu)還包括與所述氣管接頭相連的電磁閥。從而能夠通過(guò)電磁閥控制氣管接頭的充放氣。本發(fā)明采用空氣頂針的模式,替換傳統(tǒng)的鋼制頂針,不會(huì)有受力集中的問(wèn)題,能夠?qū)穸葹?00微米以下的芯片進(jìn)行剝離,而不會(huì)損傷芯片,相比現(xiàn)有技術(shù)取得了***的進(jìn)步。附圖說(shuō)明下面結(jié)合圖片來(lái)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步的說(shuō)明:圖1為本發(fā)明的立體視圖;圖2為本發(fā)明中a部分的局部放大圖;圖3為本發(fā)明的側(cè)視圖;圖4為本發(fā)明的b-b面剖視圖;圖5為本發(fā)明中b部分的局部放大圖;圖6為本發(fā)明中c部分的局部放大圖;圖7為本發(fā)明中支撐筒的剖視圖;圖8為本發(fā)明中真空吸頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)視圖;圖9為本發(fā)明中蓋板的底面視圖;圖10為定位盤處于初始零點(diǎn)時(shí)的工作視圖;圖11為定位盤處于預(yù)定角度a時(shí)的工作視圖;其中:100-橫向直線導(dǎo)軌,101-***軌道,102-***伺服電機(jī),103-***絲杠,104-***滑塊,200-縱向直線導(dǎo)軌,201-第二軌道,202-第二伺服電機(jī),203-第二絲杠,204-第二滑塊,310-基座,311-底板,312-豎板,313-頂板,314-通孔,320-支撐筒,321-氣嘴,322-***氣道。其中的一個(gè)電磁閥370與第三氣道550一起構(gòu)成了一個(gè)能夠?qū)攭K500中的凹腔541進(jìn)行充放氣的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)。浙江頂針修辭
對(duì)于一版有多個(gè)探針(頂針)的產(chǎn)品,我司可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)試。溫州族頂針
高溫恒濕試驗(yàn)機(jī)產(chǎn)品用途:...銷售二手溫度試驗(yàn)機(jī)產(chǎn)品用途:...銷售二手濕熱試驗(yàn)機(jī)產(chǎn)品用途:產(chǎn)品適用于考察...三軸頂針探針阻抗荷重行程試驗(yàn)機(jī)簡(jiǎn)介:此款試驗(yàn)機(jī)為測(cè)試頂針探針量身定制,頂針和探針力值、行程、接觸電阻為三個(gè)主要測(cè)試指標(biāo)。我司此款機(jī)器可以同時(shí)測(cè)試頂針的荷重-位移-電阻曲線,同時(shí)也可以測(cè)試頂針的壽命測(cè)試。通過(guò)電腦設(shè)定儲(chǔ)存數(shù)據(jù),是一款很好的頂針探針試驗(yàn)機(jī)器。在測(cè)試頭與底部測(cè)試夾具都需要精細(xì)處理,以便能保證測(cè)試細(xì)小的接觸電阻。對(duì)于一版有多個(gè)探針(頂針)的產(chǎn)品,我司可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)試,對(duì)于細(xì)小頂針的測(cè)試我司也有豐富的經(jīng)驗(yàn)微克檢測(cè)設(shè)備限公司結(jié)合市場(chǎng)上客戶需要,開發(fā)出探針頂針荷重阻抗行程試驗(yàn)機(jī)。目前中國(guó)的實(shí)體經(jīng)濟(jì)由于用人成本的增加,加上人員難招難管理,已經(jīng)開始慢慢向自動(dòng)化或半自動(dòng)化方向發(fā)展。自動(dòng)化的程度提高,在檢測(cè)方面會(huì)使用到大量的頂針探針以測(cè)試電子設(shè)備的一些性能指標(biāo)。所以對(duì)頂針探針的一些測(cè)試指標(biāo)就有所要求。頂針探針是通過(guò)自身的彈性接觸面以及力度來(lái)保證與電子產(chǎn)品的有效接觸。彈力太小或太大、接觸電阻太大、行程不符合要求都會(huì)對(duì)測(cè)試產(chǎn)生影響。所以就需要對(duì)此些數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測(cè)。溫州族頂針
蘇州昕昀科技有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā),發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大。公司目前擁有專業(yè)的技術(shù)員工,為員工提供廣闊的發(fā)展平臺(tái)與成長(zhǎng)空間,為客戶提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù),深受員工與客戶好評(píng)。公司以誠(chéng)信為本,業(yè)務(wù)領(lǐng)域涵蓋沖頭,非標(biāo)件,襯套,我們本著對(duì)客戶負(fù)責(zé),對(duì)員工負(fù)責(zé),更是對(duì)公司發(fā)展負(fù)責(zé)的態(tài)度,爭(zhēng)取做到讓每位客戶滿意。公司憑著雄厚的技術(shù)力量、飽滿的工作態(tài)度、扎實(shí)的工作作風(fēng)、良好的職業(yè)道德,樹立了良好的沖頭,非標(biāo)件,襯套形象,贏得了社會(huì)各界的信任和認(rèn)可。