本發(fā)明涉及半導體制造領域，尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術：在半導體芯片的制作過程中，整個晶圓制作完成后，首先需要把晶圓貼到粘性膜上，進行劃片，把晶圓切割成一顆顆單獨芯片，之后需要把單獨的芯片從粘性膜上取下來，轉入托盤，料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中，因為膜有粘性，直接用吸嘴從膜上吸取，真空力無法克服膜的粘力，取不下來。需要把芯片從膜上頂起來，使芯片的大部分與膜脫離，只剩下很下的部分還和膜粘著，這樣吸嘴從上面吸取芯片，所需要克服的粘力就很小了，就可以很順利的把芯片吸走了?，F(xiàn)有的把芯片從膜上頂升，讓芯片和膜剝離的方法，主要是頂針的方法，芯片頂升時，頂升座用真空吸附住膜，從芯片的正下方，頂起一根或多根，頂針前端磨細，針尖做成圓弧，保證既可以減少接觸面積，又不會頂破膜。頂針頂升時，因為周邊的膜被真空吸附在下面的頂升座上，只有頂針冒出把芯片頂升，芯片周邊的膜會從芯片上剝離開，只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片，這樣膜的粘力就很弱了，上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法，可以對應厚度超過100微米的芯片，厚的芯片，剛性比較好，頂針頂升時。多年以來，成功開發(fā)了幾十余種各類的試驗儀器。南京中心頂針

    作為本發(fā)明的一種推薦實施方式，還包括c形基座，所述基座包括設于所述第二滑塊上的底板、連接于底板一端的豎板以及連接于所述豎板頂端與所述底板相對布置的頂板，所述頂板上設有支撐筒，所述真空吸頭連接于所述支撐筒上。采用這樣的結構能夠避免升降驅動機構與支撐筒間的安裝***。作為本發(fā)明的一種推薦實施方式，所述支撐筒的外壁上設有氣嘴，所述支撐筒內設有連通所述真空吸頭與所述氣嘴的***氣道。能夠通過氣嘴進行抽氣來控制真空吸頭對粘性膜進行吸附。作為本發(fā)明的一種推薦實施方式，所述升降驅動機構包括設于所述豎板上的升降裝置以及設于所述支撐筒中的頂桿，所述頂桿頂部與所述頂升頭相連，所述升降裝置能夠驅動所述頂桿帶動所述真空吸頭進行升降。作為本發(fā)明的一種推薦實施方式，所述升降裝置包括安裝于所述豎板上的第三伺服電機，所述第三伺服電機具有伸至所述頂板下方的電機軸，所述電機軸上設有凸輪，所述頂桿底端穿過頂板上的通孔與所述凸輪相抵。采用這樣的結構，能夠通過凸輪的轉動來控制頂升頭的升降。作為本發(fā)明的推薦實施方式，所述進氣機構包括設于頂桿上的氣管接頭、設于所述頂桿中且連通所述氣管接頭的第二氣道。蘇州金頂針該頂桿410與支撐筒320的貫通孔324內壁間設有密封圈，由此實現(xiàn)支撐筒320與頂桿410間的氣密。

    按鍵開關荷重曲線機，連接器插拔力試驗機經過我司所有員工多年的努力，國內市場占有率達80%,功能強大、性能可靠、走在同行業(yè)的前沿。2009年開始批量供貨給集團客戶使用，2010年開始公司業(yè)績已遍布全球，2012年成功出口到日韓市場，中國臺灣市場以及歐美市場。2013年我司自主研發(fā)出具有國際先進技術的采集卡，為我司產品的更新?lián)Q代奠定了堅實的基礎。面對同行的挑戰(zhàn)，我們微克人堅信：產品可以復制，品質無法超越！16年我司的插拔力試驗機程序和荷重位移曲線儀程序已成功獲得程序著作權。公司主要專業(yè)客戶有：橡塑、汽車零部件、連接器、端子、接插件、線束、按鍵、開關、彈簧、轉軸等廠家。綜合性客戶有：汽車行業(yè)、手機、電腦、家用電器、醫(yī)療、研究所、機電、通訊設備等廠家。還有與許多**航天工廠合作一些大型的步入式恒溫恒濕試驗房，高低溫試驗箱等。對于對應每個專業(yè)或行業(yè)的品牌客戶本公司都與其合作過，國內國際**客戶不勝枚舉。我司專業(yè)的力學試驗機除了標準的拉力試驗機，剝離力試驗機，材料試驗機以外還有針對連接器、端子、按鍵、旋鈕等的一些專業(yè)性檢測設備如插拔力，按鍵荷重曲線儀，扭力試驗機，彈簧拉壓試驗機。另外我司也配套生產模擬環(huán)境試驗箱。

    頂針是塑膠模具配件，用于塑膠模具中。頂針亦可叫推桿、鑲針、中針、托針等，有時候車床用的前列也被叫做頂針。頂針的用途：1）在塑膠模具中，將產品從模具上分離下來，也是**常用的；2）硬質合金頂針如鎢鋼頂針等，則可以用來通較長較細的孔；3）頂針也叫前列那是裝配在車床或磨床上，用來支持工件并使工件圍繞它轉動的頭部圓錐形金屬圓棒，但是與塑膠模具配件的頂針是完全不一樣的東西；4）塑膠模具頂針也可用于模具里面，它可以起到穩(wěn)固作用，被叫做鑲針。塑膠模具頂針的種類有：扁頂針、圓頂針、托針、標準頂針、非標準頂針等塑膠模具頂針的材質有SKH51、SKD61、SKD11、65Mn等SKH51頂針韌性較SKD61較優(yōu)；SKD61頂針可以耐1600℃高溫，SKD61頂針表面氮化處理后可以很好的提高頂針的耐磨性，65Mn的頂針因為其品質較差，品質較脆容易斷，大部分塑膠模具已不裝配和使用65Mn材質的頂針。車床、磨床頂針的標準型號：固定頂針的標準是GB/，回轉頂針的標準是JB/T3580-1998頂針及配套塑料模具的設計標準。東莞市卓昌精密模具配件有限公司創(chuàng)立于2006年，是一家集生產、銷售為一體的模具企業(yè)，專業(yè)生產SKD-61和SKH-51頂針、托針、司筒、托筒、扁頂針、鑲件、導柱、導套等幾十種產品。公司主營產品：連接器插拔力試驗機、按鍵開關荷重行程手感導通試驗機、全自動扭力試驗機。

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在五金、工具市場新興趨勢的帶動下，實用家庭工具、園林工具、汽車用品工具、機配工具等五金工具類商品貨俏價揚，采購穩(wěn)中有升，銷售形勢樂觀，應大力發(fā)展電動工具、手工具、量具、測距儀、風動工具、園林工具、臺式工具，重點發(fā)展精致的組合工具、汽車隨車工具、建筑五金、廚電工具等產品，加快形成多品種、多規(guī)格、系列化的具有自主知識產權的重點技術和產品。經過十幾年的發(fā)展，目前沖頭，非標件，襯套產品已逐步形成系列化、標準化、品牌化，不僅品種規(guī)格齊全，產品質量穩(wěn)定，而且引進的部分名優(yōu)產品在國際市場上也有一定的競爭力。“十三五”期間，有限責任公司企業(yè)要繼續(xù)堅持由粗放型向集約型轉變、由勞動密集型向技術密集型轉變、由量的擴張向質的提升轉變、由低成本低價格向高附加值高收入率提升轉變、由以貼牌出口為主向逐步提高自主品牌出口比重轉變，樹立高標準、高質量的發(fā)展理念，采用技術改造傳統(tǒng)產業(yè)，加大科技與研發(fā)，提高產品附加值，真正實現(xiàn)由大到強的轉變。加強生產型企業(yè)內部管理，不斷完善生產工藝，降低生產成本，提高經濟效益。引導行業(yè)發(fā)展，創(chuàng)造自己的品牌，積極參與國際競爭。五金企業(yè)必須依靠科技進步，增加科技成本，更新設備，狠抓新技術、新工藝、新產品的研究與推廣，提高我國五金工業(yè)的技術水平。南京中心頂針

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