本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術(shù):在半導(dǎo)體芯片的制作過(guò)程中,整個(gè)晶圓制作完成后,首先需要把晶圓貼到粘性膜上,進(jìn)行劃片,把晶圓切割成一顆顆單獨(dú)芯片,之后需要把單獨(dú)的芯片從粘性膜上取下來(lái),轉(zhuǎn)入托盤(pán),料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過(guò)程中,因?yàn)槟び姓承?,直接用吸嘴從膜上吸取,真空力無(wú)法克服膜的粘力,取不下來(lái)。需要把芯片從膜上頂起來(lái),使芯片的大部分與膜脫離,只剩下很下的部分還和膜粘著,這樣吸嘴從上面吸取芯片,所需要克服的粘力就很小了,就可以很順利的把芯片吸走了。現(xiàn)有的把芯片從膜上頂升,讓芯片和膜剝離的方法,主要是頂針的方法,芯片頂升時(shí),頂升座用真空吸附住膜,從芯片的正下方,頂起一根或多根,頂針前端磨細(xì),針尖做成圓弧,保證既可以減少接觸面積,又不會(huì)頂破膜。頂針頂升時(shí),因?yàn)橹苓叺哪け徽婵瘴皆谙旅娴捻斏?,只有頂針冒出把芯片頂升,芯片周邊的膜?huì)從芯片上剝離開(kāi),只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片,這樣膜的粘力就很弱了,上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法,可以對(duì)應(yīng)厚度超過(guò)100微米的芯片,厚的芯片,剛性比較好,頂針頂升時(shí)。為更好服務(wù)長(zhǎng)三角客戶,于2006年末在蘇州設(shè)立辦事處。成型頂針定做
該升降裝置包括第三伺服電機(jī)340、凸輪341、半圓狀的定位盤(pán)342與傳感器350。第三伺服電機(jī)340固定于豎板312外側(cè),其電機(jī)軸穿過(guò)豎板312上的開(kāi)孔伸入基座310里側(cè),凸輪341與定位盤(pán)342依次套設(shè)于電機(jī)軸上。凸輪341與頂桿410的凸起端頭411相抵。從而能夠通過(guò)第三伺服電機(jī)340的旋轉(zhuǎn),依次驅(qū)動(dòng)凸輪341、頂桿410、連接塊510,帶動(dòng)頂塊500的升降。傳感器350安裝于豎板312上,傳感器350中間設(shè)有一道感應(yīng)凹槽351,定位盤(pán)342能夠在旋轉(zhuǎn)時(shí)穿過(guò)該感應(yīng)凹槽351,被傳感器350感應(yīng)。通過(guò)傳感器350感應(yīng)定位盤(pán)342,使該升降裝置能夠初始化頂升頭400的初始位置,并且能夠精確控制頂升頭400的頂升高度,例如圖10、圖11所示,傳感器350感應(yīng)到定位盤(pán)342的直徑邊緣342a作為起始零點(diǎn),通過(guò)感應(yīng)定位盤(pán)342旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度a控制頂升頭400的頂升高度。如圖3、圖5與圖6所示,該頂桿410的凸起端頭411上設(shè)有氣管接頭412、該頂桿410內(nèi)具有連通氣管接頭412的第二氣道413,第二氣道413連通位于頂桿410頂部的第二氣孔414。如圖6所示,該連接塊510中具有豎直貫孔,該豎直貫孔分別連通第二氣孔414與圈形磁鐵560的中心孔。如圖6所示,該頂塊500內(nèi)具有連通方形凹腔541與圈形磁鐵560中心孔的第三氣道550。常州頂針標(biāo)準(zhǔn)件型號(hào)通過(guò)電腦設(shè)定儲(chǔ)存數(shù)據(jù),是一款很好的頂針探針試驗(yàn)機(jī)器。
則在隨后的附圖中不需要對(duì)其進(jìn)行進(jìn)一步定義和解釋。在本實(shí)用新型的描述中,需要說(shuō)明的是,術(shù)語(yǔ)“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,或者是該實(shí)用新型產(chǎn)品使用時(shí)慣常擺放的方位或位置關(guān)系,*是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。實(shí)施例一:參照?qǐng)D1所示的一種球面頂針帽,包括帽蓋100、帽體200以及設(shè)置于帽體200內(nèi)部的頂針300,帽蓋100為球缺且其球面頂點(diǎn)凸出于帽體200;帽蓋100上設(shè)有供頂針的針體穿過(guò)的通孔110,頂針300從通孔110中頂出,通孔110還作為帽體200內(nèi)氣體的流通通道;球缺包括一個(gè)球冠和底面;球冠的表面積大于豎直投影下的平面面積,參照?qǐng)D4,在同尺寸頂針帽的前提下,即帽體200橫截面直徑都為l,上頂?shù)那蛉毙蚊鄙w100在帽體200內(nèi)真空的吸附作用下會(huì)對(duì)貼膜400有適量的頂開(kāi)力,導(dǎo)致貼膜400有輕微的形變,長(zhǎng)度延伸至l’,從而使貼膜400會(huì)有向下的預(yù)緊力,此時(shí)單位面積內(nèi)的芯片500數(shù)量不變,在配合頂針300從通孔110中頂出,有更大的作用力使芯片500從貼膜400上被分離;而同尺寸的傳統(tǒng)平面帽蓋。
按鍵開(kāi)關(guān)荷重曲線機(jī),連接器插拔力試驗(yàn)機(jī)經(jīng)過(guò)我司所有員工多年的努力,國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率達(dá)80%,功能強(qiáng)大、性能可靠、走在同行業(yè)的前沿。2009年開(kāi)始批量供貨給集團(tuán)客戶使用,2010年開(kāi)始公司業(yè)績(jī)已遍布全球,2012年成功出口到日韓市場(chǎng),中國(guó)臺(tái)灣市場(chǎng)以及歐美市場(chǎng)。2013年我司自主研發(fā)出具有國(guó)際先進(jìn)技術(shù)的采集卡,為我司產(chǎn)品的更新?lián)Q代奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。面對(duì)同行的挑戰(zhàn),我們微克人堅(jiān)信:產(chǎn)品可以復(fù)制,品質(zhì)無(wú)法超越!16年我司的插拔力試驗(yàn)機(jī)程序和荷重位移曲線儀程序已成功獲得程序著作權(quán)。公司主要專業(yè)客戶有:橡塑、汽車(chē)零部件、連接器、端子、接插件、線束、按鍵、開(kāi)關(guān)、彈簧、轉(zhuǎn)軸等廠家。綜合性客戶有:汽車(chē)行業(yè)、手機(jī)、電腦、家用電器、醫(yī)療、研究所、機(jī)電、通訊設(shè)備等廠家。還有與許多**航天工廠合作一些大型的步入式恒溫恒濕試驗(yàn)房,高低溫試驗(yàn)箱等。對(duì)于對(duì)應(yīng)每個(gè)專業(yè)或行業(yè)的品牌客戶本公司都與其合作過(guò),國(guó)內(nèi)國(guó)際**客戶不勝枚舉。我司專業(yè)的力學(xué)試驗(yàn)機(jī)除了標(biāo)準(zhǔn)的拉力試驗(yàn)機(jī),剝離力試驗(yàn)機(jī),材料試驗(yàn)機(jī)以外還有針對(duì)連接器、端子、按鍵、旋鈕等的一些專業(yè)性檢測(cè)設(shè)備如插拔力,按鍵荷重曲線儀,扭力試驗(yàn)機(jī),彈簧拉壓試驗(yàn)機(jī)。另外我司也配套生產(chǎn)模擬環(huán)境試驗(yàn)箱。2006年成功申請(qǐng)多項(xiàng)國(guó)家力學(xué)試驗(yàn)機(jī)。
必需要兩個(gè)頂針嗎?沒(méi)有必要。初學(xué)者,中指一個(gè)就可以了。先學(xué)如何無(wú)痛壓好線。有人看見(jiàn)我在右手上戴兩個(gè)頂針(右手中指戴一個(gè),右手拇指戴一個(gè)。)而下面的左手卻沒(méi)戴任何東西,有些不解。原因很簡(jiǎn)單,稱壓線不扎手的,有兩種。用老方法和傳統(tǒng)頂針壓線的,在下面的手上戴頂針-扎頂針,扎不到手。-針尖鈍,針易斷。雖然不扎下面的手指,卻坑害上面的手。頂針?lè)蛉说捻斸樃淖兞宋蔗樅瓦\(yùn)針的方法,下面的手根本不接針,從而沒(méi)必要戴任何保護(hù)。-不損針尖,壓線精細(xì)不費(fèi)力,不斷針。上下手全受益。我用兩個(gè)頂針為的是減少扭動(dòng)身體(造成頸痛)或壓線框(省事省時(shí))。等到你壓出國(guó)際水平,再獎(jiǎng)勵(lì)自己吧?!白笃沧幽苡脝幔俊碑?dāng)然能。左右手壓線沒(méi)有技法的區(qū)別。學(xué)起來(lái),用起來(lái),都一樣!“金銀頂針比塑料的或不銹鋼的有何區(qū)別?”,“為什么這么貴?”金銀頂針除了舒適美觀以外沒(méi)有更大區(qū)別。事實(shí)上,從壓線頂針的角度講,由于頂針需要代替你的手指來(lái)承擔(dān)很大的壓力,即使是**硬的金(14k)和銀(925)頂針也不如不銹鋼頂針硬。不銹鋼頂針比金銀的都輕。有人問(wèn)為什么不把它做成銅的?認(rèn)真考慮過(guò)后放棄了。原因很簡(jiǎn)單:銅雖比金銀賤,卻沒(méi)有金銀親膚;銅比鋼貴,卻沒(méi)有鋼硬。講究的。不會(huì)因?yàn)閷?duì)凹腔541進(jìn)行充放氣操作影響真空吸頭330的運(yùn)行。引導(dǎo)頂針廠家現(xiàn)貨
該豎直貫孔與第三氣道550間通過(guò)圈形磁鐵560的吸附力實(shí)現(xiàn)氣密。成型頂針定做
探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)簡(jiǎn)介:探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)適用于各種頂針、探針、按鍵、開(kāi)關(guān)之荷重-行程-阻抗曲線測(cè)試。測(cè)試產(chǎn)品力值行程的同時(shí)可以測(cè)試接觸電阻。頂針探針一般行程零點(diǎn)幾毫米的時(shí)候力值才20克左右,力值小,行程精度高所以對(duì)試驗(yàn)機(jī)要求較高。另外頂針探針的接觸電阻在幾毫歐以內(nèi),對(duì)測(cè)頭以及測(cè)試底板表面處理要求高。我司此款試驗(yàn)機(jī)測(cè)試頂針探針荷重行程的同時(shí)可以測(cè)試其接觸電阻。探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)我司有兩款,一款是單軸的,適合抽檢測(cè)試,工程分析測(cè)試。另外一款是三軸的適合整版頂針探針的荷重行程測(cè)試,同時(shí)顯示出接觸電阻。此機(jī)器還可以測(cè)試壽命測(cè)試??梢栽O(shè)定打擊多少次以后就進(jìn)行壽命測(cè)試。目前我司試驗(yàn)機(jī)技術(shù)先進(jìn):DSP數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),工業(yè)以太網(wǎng)傳輸數(shù)據(jù),采樣速率高達(dá)27kHZ,***抗干擾能力。探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)特點(diǎn):量測(cè)曲線圖由電腦記憶,可隨時(shí)放大、縮小,一張A4紙可任意指定放置N個(gè)曲線圖。測(cè)定專桉可輸入上、下限規(guī)格值,測(cè)定結(jié)果可自動(dòng)判定OK或NO。可輸入測(cè)定行程及荷重,電腦自動(dòng)控制。荷重單位顯示N、Ib、gf、kgf可自由切換電腦直接列印及儲(chǔ)存荷重-行程曲線圖、檢查報(bào)表。(不需要方格紙。成型頂針定做
蘇州昕昀科技有限公司位于蘇州市區(qū)金獅河沿45號(hào)2號(hào)樓312室。公司自成立以來(lái),以質(zhì)量為發(fā)展,讓匠心彌散在每個(gè)細(xì)節(jié),公司旗下沖頭,非標(biāo)件,襯套深受客戶的喜愛(ài)。公司注重以質(zhì)量為中心,以服務(wù)為理念,秉持誠(chéng)信為本的理念,打造五金、工具良好品牌。在社會(huì)各界的鼎力支持下,持續(xù)創(chuàng)新,不斷鑄造***服務(wù)體驗(yàn),為客戶成功提供堅(jiān)實(shí)有力的支持。