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不會(huì)碎裂。但厚度100微米以內(nèi)的芯片,因?yàn)樾酒臼∫呀?jīng)非常脆弱了,芯片面積稍大時(shí),頂針頂升,芯片受頂針的力和膜的粘力的相互作用,很容易就碎裂了。所以對(duì)于厚度100微米以內(nèi)的薄芯片,迫切需要新的頂升方式從粘性膜上剝離。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種新型的空氣頂針式芯片膜上分離裝置,能夠?qū)穸仍?00毫米以下的芯片進(jìn)行剝離,而不會(huì)損傷芯片。本發(fā)明通過如下方式解決該技術(shù)問題:一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置,包括真空吸頭,所述真空吸頭的頂壁上設(shè)有中心孔與環(huán)繞所述中心孔布置的吸氣孔,其特征在于:還包括設(shè)于所述中心孔中的頂升頭以及能夠驅(qū)動(dòng)所述頂升頭頂壁高出所述真空吸頭的頂壁的升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述頂升頭的頂壁上設(shè)有凹腔,所述頂升頭具有連通所述凹腔的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)。使用時(shí),將真空吸頭置于粘性膜正下方,通過真空吸頭吸住粘性膜的底面,頂升頭上升,進(jìn)氣機(jī)構(gòu)對(duì)凹腔內(nèi)充氣,使凹腔處的粘性膜開始凸起,芯片與粘性膜逐漸分離,從而使位于芯片上方的吸嘴可以順利將芯片吸走。采用這樣剝離方式,不會(huì)有傳統(tǒng)鋼制頂針受力集中的問題,能夠?qū)穸葹?00微米以下的芯片進(jìn)行剝離而不會(huì)損傷芯片,相比現(xiàn)有技術(shù)有了***的進(jìn)步。高溫恒濕試驗(yàn)機(jī)產(chǎn)品用途,銷售二手溫度試驗(yàn)機(jī)產(chǎn)品用途,銷售二手濕熱試驗(yàn)機(jī)產(chǎn)品用途。浙江頂針規(guī)格尺寸
芯片500與帽體200的90度拐角處直接接觸導(dǎo)致的破損。實(shí)施例四:本實(shí)施例與實(shí)施例一大體一致;主要區(qū)別點(diǎn)在于,如圖7所示,球缺形帽蓋100的頂部為平面且該平面平行于球缺底面,具體的,該平面的為直徑為r的圓形,直徑為r的平面覆蓋了**內(nèi)部的兩圈通孔110,保證中間通孔110出現(xiàn)頂針300時(shí),外圈通孔110對(duì)貼膜400有持久的吸附力。當(dāng)頂部通孔110吸附芯片500時(shí),由于芯片500不能彎曲,所以當(dāng)實(shí)施例一中的球缺形帽蓋100為塑性材料制作而成時(shí),帽蓋100對(duì)于芯片500之間有相對(duì)間隙,達(dá)不到**好的吸附效果;直徑為r的平面增大了帽蓋頂部對(duì)貼膜400的接觸面,變相增大了與芯片500之間的接觸面,減小了上述的相對(duì)間隙,增大了吸附力,更有利于配合頂針向上頂,使芯片與貼膜分離。需要說明的是,實(shí)施例一至三中的球缺形帽蓋100為彈性材料制作而成時(shí),帽蓋100在頂部可輕微變形也能有效地保證與貼膜400的接觸面積,減小相對(duì)間隙,增大了吸附力,有利于配合頂針向上頂,使芯片與貼膜分離。以上所述*為本實(shí)用新型的推薦實(shí)施例而已,并不用于限制本實(shí)用新型,對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等。佛山定制頂針通過粘性膜的運(yùn)動(dòng)使粘性膜上的芯片對(duì)準(zhǔn)頂升頭400上的凹腔541,角度一致。
買家須知:1.圖片為我廠為生產(chǎn)或加工產(chǎn)品的實(shí)物拍攝,供參考。2.需要客戶提供標(biāo)準(zhǔn)代碼或者圖紙加工。3.具體價(jià)格,交期請(qǐng)向客服確定后下單。一、服務(wù)范圍1.承接各類機(jī)械零件加工,客戶需提供圖紙或樣品CNC數(shù)控車床加工、電腦鑼加工,普通車床加工,普通銑床加工,磨床加工,線切割加工,鉆床加工等2.零件表面處理(例如:普通陽極、硬化陽極、彩色陽極、發(fā)黑、鍍鉻、鍍鋅、鍍彩鋅、鋁件陽極白、陽極黑、鍍金、鋼件HRC)3.加工數(shù)量不限,一件起訂(打樣通常單價(jià)比較貴,但是零件在量產(chǎn)的時(shí)候,我們承諾退回打樣品差價(jià)或者退樣品費(fèi));4.常用零件材料(例如:金屬類:銅、鋁、45#鋼、不銹鋼等;非金屬類:PE、PP、PVC、ABS、PMMA、POM、PA等)二、服務(wù)流程1.報(bào)價(jià)①顧客提供圖紙(格式:CAD,PDF,STP)或者樣品。圖紙以下信息清晰:加工數(shù)量,材料,精度公差,表面處理及特殊要求。本店可以根據(jù)客戶需求對(duì)圖紙做適當(dāng)修改或設(shè)計(jì)。②報(bào)價(jià)時(shí)間(快速度報(bào)出,特殊情況除外),收到圖紙或者樣品,一定給客戶回復(fù)。2.價(jià)格與顧客協(xié)商,承諾盡團(tuán)隊(duì)力量提供更低的價(jià)格。但價(jià)格不是我們服務(wù)的因素,品質(zhì)、交期、售后和服務(wù)態(tài)度同等重要。3.品質(zhì)1.設(shè)備保障:本店有實(shí)體工廠。
該升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)于c形基座310上的升降裝置、穿設(shè)于支撐筒320中的貫通孔324內(nèi)的頂桿410以及用于連接頂桿410與頂塊500的連接塊510。如圖5與圖7所示,頂桿410上由上至下依次套設(shè)有導(dǎo)套430與彈簧420,導(dǎo)套430與位于貫通孔324頂部的阻擋部325相抵,彈簧420與位于頂桿410底部的凸起端頭411相抵。頂桿410底部的凸起端頭411穿過基座310上的通孔314伸入基座310中。頂桿410的頂端穿出阻擋部325伸入真空吸頭330的殼筒334內(nèi)。如圖6所示,連接塊510置于殼筒334內(nèi),連接塊510的底面上具有容置腔511,頂桿410頂端伸入該容置腔511內(nèi),連接塊510的外壁上設(shè)有滑槽513,該滑槽513內(nèi)布置有定位桿514,定位桿514插設(shè)于支撐筒320頂壁上的定位插孔內(nèi),以此來避免連接塊510發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)。連接塊510的外壁上還設(shè)有連通容置腔511的連接孔515,通過穿入連接孔515并與頂桿410外壁相抵的螺栓實(shí)現(xiàn)頂桿410與連接塊510的連接固定。為便于組裝與拆卸,連接塊510與頂塊500間的連接方式如圖6所示:頂塊500的底面上設(shè)有放置腔,放置腔內(nèi)設(shè)有圈形磁鐵560,連接塊510吸附于該圈形磁鐵560上。使連接塊510與頂塊500間能夠方便的通過磁力進(jìn)行裝配與分離。如圖1和圖5所示。試驗(yàn)機(jī)校準(zhǔn)不設(shè)任何密碼,可以自主校驗(yàn),保質(zhì)期過后可以自主找其他供貨商維修。
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術(shù):在半導(dǎo)體芯片的制作過程中,整個(gè)晶圓制作完成后,首先需要把晶圓貼到粘性膜上,進(jìn)行劃片,把晶圓切割成一顆顆單獨(dú)芯片,之后需要把單獨(dú)的芯片從粘性膜上取下來,轉(zhuǎn)入托盤,料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中,因?yàn)槟び姓承?,直接用吸嘴從膜上吸取,真空力無法克服膜的粘力,取不下來。需要把芯片從膜上頂起來,使芯片的大部分與膜脫離,只剩下很下的部分還和膜粘著,這樣吸嘴從上面吸取芯片,所需要克服的粘力就很小了,就可以很順利的把芯片吸走了?,F(xiàn)有的把芯片從膜上頂升,讓芯片和膜剝離的方法,主要是頂針的方法,芯片頂升時(shí),頂升座用真空吸附住膜,從芯片的正下方,頂起一根或多根,頂針前端磨細(xì),針尖做成圓弧,保證既可以減少接觸面積,又不會(huì)頂破膜。頂針頂升時(shí),因?yàn)橹苓叺哪け徽婵瘴皆谙旅娴捻斏希挥许斸樏俺霭研酒斏?,芯片周邊的膜?huì)從芯片上剝離開,只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片,這樣膜的粘力就很弱了,上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法,可以對(duì)應(yīng)厚度超過100微米的芯片,厚的芯片,剛性比較好,頂針頂升時(shí)。蘇州昕昀立志于研制好的產(chǎn)品,提供好的服務(wù)。南通頂針定制價(jià)格
該頂桿410外壁與連接塊510放置腔的內(nèi)壁間設(shè)有密封圈512,由此實(shí)現(xiàn)第二氣道413與豎直貫孔間的氣密。浙江頂針規(guī)格尺寸
housing)接口類型AC/DC主營(yíng)產(chǎn)品:連接器音頻線、視頻線直插式LED燈珠電子線廣州市友業(yè)電子有限公司所在地:廣東廣州在線詢價(jià)熱門現(xiàn)貨韓國(guó)KET連接器ST740771-3接插件塑殼端子品牌KET型號(hào)ST740771-3應(yīng)用范圍汽車種類端子(terminal)接口類型DIN(大/中/小)支持卡數(shù)單卡主營(yíng)產(chǎn)品:連接器其他模具集成電路(IC)¥昆山千金電子有限公司所在地:江蘇昆山市在線詢價(jià)現(xiàn)貨質(zhì)量供應(yīng)***原裝進(jìn)口KET防水連接器/接插件mg620568品牌KET型號(hào)mg620568應(yīng)用范圍汽車種類FFC/FPC接口類型IDC加工定制是主營(yíng)產(chǎn)品:連接器/膠殼端子線束¥廣州市航聯(lián)電子科技有限公司所在地:廣東廣州在線詢價(jià)現(xiàn)貨期貨供應(yīng)原裝進(jìn)口KET品牌連接器KETMG610876P塑殼加工定制否品牌KET型號(hào)MG610876P應(yīng)用范圍背板種類膠殼(housing)接口類型DC/DC主營(yíng)產(chǎn)品:連接器珠海正本電子有限公司所在地:廣東珠海在線詢價(jià)梟騰電子/MG641362-5/優(yōu)勢(shì)供應(yīng)KET汽車連接器加工定制否品牌KET型號(hào)MG641362-5應(yīng)用范圍汽車種類膠殼(housing)接口類型AC/DC主營(yíng)產(chǎn)品:連接器集成電路。浙江頂針規(guī)格尺寸
蘇州昕昀科技有限公司是一家 蘇州昕昀科技有限公司成立于2017-03-07,法定代表人為楊麗,注冊(cè)資本為200萬元人民幣,統(tǒng)一社會(huì)信用代碼為91320508MA1NH6YU0L,企業(yè)地址位于蘇州市區(qū)金獅河沿45號(hào)2號(hào)樓312室,所屬行業(yè)為研究和試驗(yàn)發(fā)展,經(jīng)營(yíng)范圍包含:工業(yè)技術(shù)研發(fā);銷售:發(fā)光二極管材料,燈具,電子元器件,電線電纜,防靜電產(chǎn)品,無塵室耗材,檢測(cè)儀器設(shè)備,量具,工裝夾具,機(jī)電產(chǎn)品,橡膠制品,包裝材料,勞保用品,辦公用品。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng))。蘇州昕昀科技有限公司目前的經(jīng)營(yíng)狀態(tài)為存續(xù)(在營(yíng)、開業(yè)、在冊(cè))。的公司,致力于發(fā)展為創(chuàng)新務(wù)實(shí)、誠(chéng)實(shí)可信的企業(yè)。昕昀科技擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì),以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供沖頭,非標(biāo)件,襯套。昕昀科技始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念,影響并帶動(dòng)團(tuán)隊(duì)取得成功。昕昀科技始終關(guān)注五金、工具市場(chǎng),以敏銳的市場(chǎng)洞察力,實(shí)現(xiàn)與客戶的成長(zhǎng)共贏。