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晶圓隔振臺(tái)研發(fā)生產(chǎn)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-01-26

傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源,通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要,但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座(診斷插座)連接到傳感器設(shè)置并將電源連接到傳感器后,系統(tǒng)即可使用。按下電源上的電源旋鈕,打開電源。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開始閃爍,這意味著存在一些振動(dòng)?,F(xiàn)在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色的發(fā)光二極管不應(yīng)該再亮了。如果它們亮了,那意味著系統(tǒng)超載,建筑物內(nèi)的振動(dòng)太嚴(yán)重。勵(lì)磁箱允許將激勵(lì)信號(hào)施加到TS隔離系統(tǒng),以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動(dòng)器。晶圓隔振臺(tái)研發(fā)生產(chǎn)

晶圓隔振臺(tái)研發(fā)生產(chǎn),隔振臺(tái)

AVI主動(dòng)隔振臺(tái)AVI主動(dòng)隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測量和生產(chǎn)環(huán)境。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉計(jì)、微檢測設(shè)備等提供極好的隔振效果。AVI產(chǎn)品特點(diǎn):·安置好后只需簡單地調(diào)節(jié)彈簧即可使用。·安裝好后參數(shù)不需要調(diào)整。·從低頻率起提高一個(gè)隔振環(huán)境?!た刂浦行挠谐d指示燈。Cu(100)-O表面低溫AFM圖像如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。高精密儀器隔振臺(tái)電子顯微鏡SEMTableStable通過主動(dòng)控制沒有共振點(diǎn),可以防止低頻范圍的振動(dòng)。

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TS-150安全守則?只能將系統(tǒng)插入具有單獨(dú)接地的插座。不要斷開此連接通過插座或使用不接地的延長線接地。?在打開本設(shè)備之前,請確保已將其連接到正確的電源電壓。?請勿卸下任何蓋子或讓任何金屬物體進(jìn)入設(shè)備的任何開口。?請勿拆卸或嘗試維修系統(tǒng)。這可能會(huì)導(dǎo)致電擊或損壞到系統(tǒng)。?卸下任何主機(jī)蓋之前,請先斷開電源。請把維修交給合格的人員。?請勿在有BZ危險(xiǎn)的環(huán)境中使用。?請勿在頂板上鉆任何孔。這會(huì)損壞系統(tǒng)。?如果您懷疑系統(tǒng)有任何不安全之處,請拔下電源插頭并防止可能發(fā)生的意外事故用法。請與您蕞近的服務(wù)中心聯(lián)系。

TS-150TS-150結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)TS150的隔離頻率始于0.7Hz,超過10Hz時(shí)迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS150的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動(dòng)隔離模式精確的獨(dú)力于載荷的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)即使在載荷發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”頻率:0,7-1000Hz負(fù)載范圍:0-150公斤尺寸:400x450x78.5毫米TS-150結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)卓悅性和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)。TS150的隔離頻率始于0.7Hz,超過10Hz時(shí)迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多。TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性。TS150的出色性能包括所有六個(gè)平移和旋轉(zhuǎn)振動(dòng)模式精確的獨(dú)力于載荷的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)即使在載荷發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平。遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”用戶友好,實(shí)用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果。TS-150的高度瑾為78.5毫米TS-150的重量瑾為17.5千克振動(dòng)分析系統(tǒng)VA-2C是帶有遠(yuǎn)程測量頭的系統(tǒng),可以輕松測量三個(gè)正交方向上的加速度,速度或位移。

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TS主動(dòng)隔振臺(tái)在3D空間的6個(gè)自由度中主動(dòng)式隔振從0.7Hz到100Hz在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體帶表相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)),振動(dòng)、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術(shù)中,為了獲得可靠的結(jié)果,使用充氣被動(dòng)隔振臺(tái)無法隔離低頻振動(dòng),此時(shí)需要主動(dòng)隔離。先進(jìn)的主動(dòng)式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。裝載設(shè)備:掃描電子顯微鏡,如AFM3D表面分析儀,激光顯微鏡,激光干涉儀,液體表面張力測量系統(tǒng),顯微硬度測量儀,醫(yī)療檢測設(shè)備等。安裝好后參數(shù)不需要調(diào)整。晶圓隔振臺(tái)免稅價(jià)格

在過去的40年,HERZ發(fā)展成為被動(dòng)式隔振設(shè)備的領(lǐng)頭供應(yīng)商 ,并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)。晶圓隔振臺(tái)研發(fā)生產(chǎn)

LFS-3傳感器在三個(gè)軸上測量水平和垂直加速度,頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋回路中,以提高極低頻時(shí)的隔振性能。LFS-3可以被復(fù)裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測量的垂直和水平隔離(可傳輸性),其具有和不具有LFS。用AVI-200S/LP進(jìn)行測量,增益設(shè)置為128(V)和150(H)。輸入電壓:115/230VAC,50-60Hz功耗:蕞大20瓦頻率范圍:0.2-20Hz尺寸傳感器:255x245x107mm(長x寬x高)電源尺寸:265x155x73mm(長x寬x高)重量傳感器:5.9kg供電重量:1.6kg應(yīng)用:室內(nèi)防護(hù)等級(jí):IP20溫度范圍:5°C-40°C相對濕度:10–90%(5–30°C)晶圓隔振臺(tái)研發(fā)生產(chǎn)