保持部53與線材或者帶狀物等懸掛部件53b連接。保持部53從升降驅(qū)動部54懸掛且以能夠擺動的狀態(tài)升降。保持部53可以與上述的第1、第二起重機(jī)40a、40b的保持部49是同一結(jié)構(gòu)，也可以是不同結(jié)構(gòu)。升降驅(qū)動部54例如是升降機(jī)，通過抽出懸掛部件53b而使保持部53下降，通過卷繞懸掛部件53b而使保持部53上升。升降驅(qū)動部54被控制裝置60等控制，使保持部53以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，升降驅(qū)動部54被控制裝置60等控制，將保持部53保持于目標(biāo)高度。橫向伸出機(jī)構(gòu)55例如具有在上下方向重疊配置的可動板?？蓜影迥軌蛳蛐旭偛?1的行駛方向的側(cè)方(與行駛方向正交的方向)移動。在可動板安裝有轉(zhuǎn)動部和升降驅(qū)動部54。主體部52具有引導(dǎo)橫向伸出機(jī)構(gòu)55的未圖示的引導(dǎo)件、和驅(qū)動橫向伸出機(jī)構(gòu)55的未圖示的驅(qū)動部等。橫向伸出機(jī)構(gòu)55通過來自電動馬達(dá)等驅(qū)動部的驅(qū)動力，使升降驅(qū)動部54和保持部53沿著引導(dǎo)件，在突出位置與收納位置之間移動。突出位置是從主體部52向側(cè)方突出的位置。收納位置是收納于主體部52內(nèi)的位置。轉(zhuǎn)動部具有未圖示的轉(zhuǎn)動部件和轉(zhuǎn)動驅(qū)動部。轉(zhuǎn)動部件被設(shè)置為能夠圍繞上下方向的軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動。轉(zhuǎn)動部件安裝于升降驅(qū)動部54或者保持部53。轉(zhuǎn)動驅(qū)動部使用電動馬達(dá)等。浦口區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！棲霞區(qū)常見真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家

    第1、第二起重機(jī)40a、40b能夠在上下的第1、第二保管部20a、20b之間搬運(yùn)物品2。另外，在物品2被高架搬運(yùn)車50載置于第1交接端口30a的情況下，若第1起重機(jī)40a能夠搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的第1處理裝置tl1的裝載端口lp，則將物品2搬運(yùn)至該裝載端口lp，若第1起重機(jī)40a不能搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的裝載端口lp，則將物品2搬運(yùn)至第1保管部20a，在變?yōu)槟軌虬徇\(yùn)的時(shí)刻將物品2從第1保管部20a搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的第1處理裝置tl1的裝載端口lp。另外，在物品2被高架搬運(yùn)車50載置于第二交接端口30b的情況下，若第二起重機(jī)40b能夠搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的第二處理裝置tl2的裝載端口lp，則將物品2搬運(yùn)至該裝載端口lp，若第二起重機(jī)40b不能搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的裝載端口lp，則將物品2搬運(yùn)至第二保管部20b，在變?yōu)槟軌虬徇\(yùn)的時(shí)刻將物品2從第二保管部20b搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的第二處理裝置tl2的裝載端口lp。在搬運(yùn)系統(tǒng)100中，高架搬運(yùn)車50在不同的第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間搬運(yùn)物品2。高架搬運(yùn)車50的行駛速度被設(shè)定為比第1、第二起重機(jī)40a、40b快。其結(jié)果是，即便是在遠(yuǎn)離的第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2之間也能夠通過高架搬運(yùn)車50在短時(shí)間內(nèi)搬運(yùn)物品2。此外。徐匯區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家六合區(qū)粉塵真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    各子吸盤下端面相平，所述子吸盤包括氣罩，所述氣罩上端與密封腔連通，所述氣罩下端密封設(shè)置有皮套。進(jìn)一步地，所述皮套中間位置連接有向上的拉桿，所述氣罩上端與拉桿對應(yīng)位置處開有導(dǎo)向孔，所述氣罩上環(huán)繞導(dǎo)向孔還環(huán)繞設(shè)置有2-6個(gè)氣孔，所述氣孔下端外側(cè)還設(shè)置有緩沖環(huán)，所述拉桿上還設(shè)置有擋板，擋板隨拉桿上升時(shí)能夠與緩沖環(huán)密封，所述拉桿上端還設(shè)置有限位環(huán)。進(jìn)一步地，所述皮套中間位置設(shè)置有夾板，所述拉桿與夾板相連。進(jìn)一步地，所述擋板截面為向下的錐形。進(jìn)一步地，所述密封腔的上壁和下壁之間設(shè)置有3-6根支撐桿。進(jìn)一步地，所述氣罩靠近下端的截面面積大于靠近上端的截面面積。本實(shí)用新型的有益效果在于：增加子吸盤，子吸盤包括氣罩，所述氣罩上端與密封腔連通，所述氣罩下端密封設(shè)置有皮套，任一個(gè)子吸盤吸附石板均能夠?yàn)槭逄峁┲?；設(shè)置皮套能夠保證不與石板密封的子吸盤不漏氣；設(shè)置拉桿、導(dǎo)向孔、擋板、限位環(huán)、氣孔、緩沖環(huán)，能夠有效的限制皮套的變形量，在保證真空吸力的情況下避免拉壞皮套，提高使用壽命；設(shè)置夾板，能夠提高皮套的受力面積，保證皮套使用壽命；設(shè)置支撐桿，能夠防止密封腔變形。附圖說明圖1為真空吸吊機(jī)結(jié)構(gòu)圖示意圖。

    因此高架搬運(yùn)車50能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12無障礙地移動至第1區(qū)段間頂棚軌道13。接下來，如圖9所示，高架搬運(yùn)車50在第1區(qū)段間頂棚軌道13上朝向-x方向行駛，從第1區(qū)段間頂棚軌道13經(jīng)由第1連接軌道15的入口部15a向第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11移動(參照圖9的箭頭)。其后，高架搬運(yùn)車50從第1連接軌道15的入口部15a移動至第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a，并在與作為搬運(yùn)目的地的第1交接端口30a對應(yīng)的位置停止。接著，高架搬運(yùn)車50使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向-x方向突出，驅(qū)動升降驅(qū)動部54使保持部53下降，由此將物品2載置于第1交接端口30a。通過以上的動作，能夠?qū)⑽锲?從第二保管區(qū)域sa2搬運(yùn)至第1保管區(qū)域sa1。另外，如上述那樣，在第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2的+y側(cè)或者-y側(cè)端部配置第1、第二交接端口30a、30b，由此能夠避免高架搬運(yùn)車50為了物品2的交接而停止在第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2內(nèi)的中間部分等，能夠擴(kuò)大第1、第二起重機(jī)40a、40b的運(yùn)行范圍。另外，例如，通過第1起重機(jī)40a將物品2(搬運(yùn)目的地是第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b)載置于第1保管區(qū)域sa1的第1交接端口30a的情況下。江寧區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對應(yīng)，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。棲霞區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！建鄴區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)原理

浦口區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！棲霞區(qū)常見真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家

    搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實(shí)施方式中，搬運(yùn)系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運(yùn)系統(tǒng)100所搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個(gè)例子的圖。在圖2中表示從+x側(cè)觀察第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個(gè)例子。如圖1和圖2所示，第1處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的第1裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置。第1、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個(gè)。沿y方向排列的多個(gè)第1、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設(shè)置多列。此外，多個(gè)第1、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個(gè)例子，也可以是其他配置。另外。棲霞區(qū)常見真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家

上海勁容自動化設(shè)備有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念，先進(jìn)的管理經(jīng)驗(yàn)，在發(fā)展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創(chuàng)新，時(shí)刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司，在上海市等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中匯聚了大量的人脈以及**，在業(yè)界也收獲了很多良好的評價(jià)，這些都源自于自身不努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果，這些評價(jià)對我們而言是比較好的前進(jìn)動力，也促使我們在以后的道路上保持奮發(fā)圖強(qiáng)、一往無前的進(jìn)取創(chuàng)新精神，努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個(gè)新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同上海勁容自動化設(shè)備供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來，創(chuàng)造更有價(jià)值的產(chǎn)品，我們將以更好的狀態(tài)，更認(rèn)真的態(tài)度，更飽滿的精力去創(chuàng)造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長！