設(shè)置在所述弧形槽上用于鎖緊所述球頭和所述弧形槽的鎖緊件，以及設(shè)置在所述弧形槽內(nèi)用于增大摩擦力以控制所述球頭在所述弧形槽內(nèi)的位置的阻尼件。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，所述鎖緊件包括與所述弧形槽上的開孔螺紋連接的鎖緊手柄，以及與所述鎖緊手柄固定連接并且位于所述弧形槽內(nèi)與所述球頭的外表面形狀配合的弧形壓板。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，所述固定夾持機(jī)構(gòu)包括與所述弧形槽連接的防滑手柄，與所述防滑手柄的連接的支架，與所述支架連接的夾持件，以及與所述夾持件的端部連接用于鎖緊所述夾持件的鎖定板。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，所述夾持件包括與所述支架固定連接的固定夾，位于所述固定夾的一側(cè)與所述支架轉(zhuǎn)動(dòng)連接的轉(zhuǎn)動(dòng)夾，以及設(shè)置所述轉(zhuǎn)動(dòng)夾與所述支架之間用于轉(zhuǎn)動(dòng)夾轉(zhuǎn)動(dòng)后復(fù)位的壓簧；所述鎖定板與所述固定夾的端部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，通過轉(zhuǎn)動(dòng)可將所述固定夾和所述轉(zhuǎn)動(dòng)夾鎖緊在一起。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，所述長度調(diào)整機(jī)構(gòu)包括與所述球頭固定連接的內(nèi)調(diào)節(jié)桿，套置在所述內(nèi)調(diào)節(jié)桿外與所述內(nèi)調(diào)節(jié)桿可以相對(duì)往復(fù)移動(dòng)的外調(diào)節(jié)桿，設(shè)置在所述外調(diào)節(jié)桿上用于鎖定或者解鎖所述內(nèi)調(diào)節(jié)桿和所述外調(diào)節(jié)桿之間的相對(duì)位置的開關(guān)結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面。江寧區(qū)多功能氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！南京牛皮袋氣動(dòng)懸臂吊哪家有

    本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)。六合區(qū)糖袋氣動(dòng)懸臂吊哪家便宜六合區(qū)糖袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！

    起到防滑作用。固定夾和轉(zhuǎn)動(dòng)夾閉合后形成一個(gè)由四個(gè)沿圓周方向等間隔排列的圓弧形凹槽組成的空間，使得夾持件可以從兩個(gè)垂直的角度夾持艙壁助力扶手。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方案，固定夾持機(jī)構(gòu)與長度調(diào)整機(jī)構(gòu)之間通過萬向球頭接頭結(jié)構(gòu)連接。萬向球頭接頭結(jié)構(gòu)中的球頭位于弧形槽中，并可在其中自由轉(zhuǎn)動(dòng)。使得長度調(diào)整機(jī)構(gòu)也可自由轉(zhuǎn)動(dòng)，而航天員可通過鎖緊件來壓緊球頭，從而鎖定長度調(diào)整機(jī)構(gòu)使其不再轉(zhuǎn)動(dòng)。而位于弧形槽中的阻尼件則可在長度調(diào)整機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)到位后依靠其與球頭之間的摩擦力使轉(zhuǎn)動(dòng)自動(dòng)停止。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方案，外調(diào)節(jié)桿可往復(fù)移動(dòng)地套設(shè)在內(nèi)調(diào)節(jié)桿上，內(nèi)調(diào)節(jié)桿上設(shè)有多個(gè)固定孔。而外調(diào)節(jié)桿上設(shè)有開關(guān)結(jié)構(gòu)。航天員可通過撥動(dòng)開關(guān)結(jié)構(gòu)中的凸輪手柄使與其鉸接的鎖定銷做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)，從而在位于固定孔中和脫離固定孔兩個(gè)狀態(tài)之間切換，完成調(diào)整長度并鎖定。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方案，長度調(diào)整機(jī)構(gòu)和末端助力機(jī)構(gòu)之間通過萬向接頭機(jī)構(gòu)連接，萬向接頭機(jī)構(gòu)與萬向球頭接頭機(jī)構(gòu)相似，同樣為類似關(guān)節(jié)的機(jī)構(gòu)。使得末端主力機(jī)構(gòu)也可做自由轉(zhuǎn)動(dòng)。而連桿可旋轉(zhuǎn)地連接在末端扶手上，使得末端扶手可繞連桿軸線旋轉(zhuǎn)。配合萬向球頭接頭機(jī)構(gòu)構(gòu)成的關(guān)節(jié)結(jié)構(gòu)。

    根據(jù)不同客戶的不同的需求，費(fèi)蘭智能設(shè)備一般都生產(chǎn)出不同類型的助力機(jī)械手產(chǎn)品，主要就是根據(jù)用戶的需求定制，其中包括軟索式助力機(jī)械手、硬臂式助力機(jī)械手、碼垛機(jī)械手、KBK軌道、助力機(jī)械臂等等。這些雖然名稱不相同但是大致組成結(jié)構(gòu)有一定的形同部分的，也就是助力機(jī)械手主要的功能部件！一、主機(jī)部分：可實(shí)現(xiàn)不同重量物料的重力平衡狀態(tài)，適用于物料的精確移載操作?？蛰d、滿載及處理不同工件時(shí)，系統(tǒng)可感知其重量變化，并實(shí)現(xiàn)載荷在三維空間中的浮動(dòng)狀態(tài)，便于精確定位。全程平衡、運(yùn)動(dòng)順滑等特點(diǎn)，使得操作者可以很便捷地實(shí)現(xiàn)工件的搬運(yùn)、定位、裝配等操作。剛性手臂可使機(jī)械手帶工件越過障礙；系統(tǒng)可始終保持機(jī)械手頭部的水平，發(fā)揮高作業(yè)性。水平臂可滿足物料在相關(guān)場(chǎng)所進(jìn)行橫向放入、橫向取出等動(dòng)作要求。關(guān)節(jié)剎車裝置，具有多個(gè)回轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，以實(shí)現(xiàn)廣域范圍內(nèi)的物料取置；配備有剎車裝置，操作者可在操作過程中隨時(shí)中斷機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)。二、氣路控制系統(tǒng)部分：變頻機(jī)械手設(shè)置有元件保護(hù)盒，以保護(hù)主要精密氣動(dòng)元器件，避免操作時(shí)意外撞擊及灰塵沉積。系統(tǒng)配備二聯(lián)件、單向閥和儲(chǔ)氣罐，為系統(tǒng)提供持續(xù)穩(wěn)定的壓縮空氣，當(dāng)主供氣源意外斷氣時(shí)，可提供一定時(shí)間的安全保障。棲霞區(qū)牛皮袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！

    自所述電路基板的法線方向觀察時(shí)，隔著所述第1電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反側(cè)存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第1電力電路到達(dá)電動(dòng)馬達(dá)的電流路徑遠(yuǎn)離控制電路。作為理想的技術(shù)方案，所述第2線圈布線的所述第2部位自比所述第2電力電路所包含的電子元器件靠近所述電路基板的外周的位置連接于所述第2電力電路。由此，能夠使第2線圈布線遠(yuǎn)離磁傳感器，能夠抑制因電流在第2線圈布線中流動(dòng)而產(chǎn)生的磁場(chǎng)對(duì)磁傳感器造成的影響。作為理想的技術(shù)方案，所述電路基板具有與所述第2線圈布線的所述第2部位相連接的第2通孔，自所述電路基板的法線方向觀察時(shí)，在所述檢測(cè)電路的配置位置與所述第2通孔之間存在所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達(dá)電動(dòng)馬達(dá)的電流路徑遠(yuǎn)離磁傳感器。隔著所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反側(cè)存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達(dá)電動(dòng)馬達(dá)的電流路徑遠(yuǎn)離控制電路。作為理想的技術(shù)方案，還具有配置于所述電路基板的電容器，自所述電路基板的法線方向觀察時(shí)。溧水區(qū)牛皮袋氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家！常州氣動(dòng)懸臂吊推薦廠家

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    助力機(jī)械手，又稱機(jī)械手、平衡吊、平衡助力器、手動(dòng)移載機(jī)（以上說法并不專業(yè)但國內(nèi)已經(jīng)流行），是一種新穎的、用于物料搬運(yùn)及安裝時(shí)省力操作的助力設(shè)備。它巧妙地應(yīng)用力的平衡原理，使操作者對(duì)重物進(jìn)行相應(yīng)的推拉，就可在空間內(nèi)平衡移動(dòng)定位。重物在提升或下降時(shí)形成浮動(dòng)狀態(tài)，靠氣路保證零操作力（實(shí)際情況因?yàn)榧庸すに嚰霸O(shè)計(jì)成本控制，操作力以小于3kg為判斷標(biāo)準(zhǔn)）操作力受工件重量影響。無需熟練的點(diǎn)動(dòng)操作，操作者用手推拉重物，就可以把重物正確地放到空間中的任何位置。助力機(jī)械手應(yīng)用由于具有無重力化、精確直觀、操作便捷、安全高效等特點(diǎn)，“平衡吊”應(yīng)用于現(xiàn)代工業(yè)中的物料移載、高頻率搬運(yùn)、精確定位、部件裝配等場(chǎng)合。從接受原材料和物料開始，一直到加工、生產(chǎn)、保管及配送等物料流動(dòng)過程中的每一個(gè)環(huán)節(jié)，平衡吊手動(dòng)移載系統(tǒng)所發(fā)揮的作用是令人矚目的。正確使用相應(yīng)的物料移載方法和手段，對(duì)于各行業(yè)中，重物的移載、搬運(yùn)現(xiàn)場(chǎng)的操作人員的健康、安全，進(jìn)而其作業(yè)的合理性、勞動(dòng)力的節(jié)省、生產(chǎn)效率的提高、產(chǎn)品品質(zhì)的保障等多方面都有極大改善。助力機(jī)械手系統(tǒng)組成一套完整的助力機(jī)械手裝備主要由三部分組成：平衡吊主機(jī)、抓取夾具（或機(jī)械手）及安裝結(jié)構(gòu)。南京牛皮袋氣動(dòng)懸臂吊哪家有

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