施邁茨推出了適用于各行業(yè)人工搬運任務的搬運技術。該方案由真空搬運設備（如Jumbo真空管吊具或VacuMaster真空起重機）和配套的軌道系統(tǒng)構成。真空搬運設備選購指導：真空搬運設備的功能和選購真空搬運設備可為客戶打造符合人體工程學的工作環(huán)境。該類設備可有效避免由于抬起和移動重負荷工件而引發(fā)的健康問題。施邁茨推出的真空搬運設備配備有的鋁合金軌道系統(tǒng)。軌道系統(tǒng)的適配性較好，與真空搬運設備搭配使用可令工作效率得到提升，其設計同樣符合人體工程學原理。施邁茨的真空搬運設備分為Jumbo真空管吊具和VacuMaster真空起重機兩大系列。我們的真空搬運設備符合CE認證以及歐盟所有現行的法律標準。我們的設備全部帶有CE標簽，運輸前均經過單獨測試，并且交付時隨附合格聲明、操作及維護說明書。真空搬運設備實例迄今為止，施邁茨真空搬運系統(tǒng)已廣泛應用在多種行業(yè)領域中，為物料運輸效率提供有效保障。多年的行業(yè)經驗讓我們可以與客戶始終保持緊密合作，我們了解客戶的工作流程，并且有能力生產出符合嚴格標準的產品。在保證材料和雇員安全的同時，真空搬運設備可以更快速、更穩(wěn)定地搬運負載。此外，施邁茨還可根據客戶的要求提供整套工作區(qū)方案。江寧區(qū)象鼻子真空搬運機推薦廠家！豐縣象鼻子真空搬運機生產廠家

    搬運系統(tǒng)100也能夠應用于除半導體制造領域以外的設備，物品2可以是由用于設置搬運系統(tǒng)100的設備處理的各種物品。在本實施方式中，搬運系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運系統(tǒng)100所搬運的物品2的半導體晶圓實施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個例子的圖。在圖2中表示從+x側觀察第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個例子。如圖1和圖2所示，第1處理裝置tl1在設定于制造工廠等的地板部的第1裝置區(qū)域ta1內沿一個方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內沿一個方向(y方向)排列配置。第1、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個。沿y方向排列的多個第1、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設置多列。此外，多個第1、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個例子，也可以是其他配置。另外。黃浦區(qū)包裝袋真空搬運機哪家有六合區(qū)常見真空搬運機推薦廠家！

    并使轉動部件圍繞上下方向的軸進行轉動。轉動部通過來自轉動驅動部的驅動力而轉動，能夠使升降驅動部54或者保持部53圍繞上下方向的軸進行轉動。通過該轉動部能夠將被保持部53保持的物品2的朝向改變。此外，高架搬運車50也可以不具備轉動部。圖6是表示第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51的一個例子的圖。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51例如采用共用的結構(同一結構或者大致同一結構)。另外，對于頂棚軌道10中的第1區(qū)段內頂棚軌道11、第二區(qū)段內頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14而言，與行駛方向正交的平面的截面相同或者大致相同，第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51中的任一者均能夠行駛。這樣，由于第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51共用，因此無需按照其他結構制造第1、第二行駛部41a、41b與行駛部51，能夠減少第1、第二起重機40a、40b和高架搬運車50的制造成本。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51具有：多個車輪71a，它們與頂棚軌道10的下方的內表面抵接；和行駛部主體71b，其安裝有上述多個車輪71a。行駛部主體71b具備用于驅動車輪71a的行駛驅動部、和各種傳感器。頂棚軌道10具備供電部70。

    本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設置花費成本，需要用于鋪設各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應，因此對處理裝置等的布局產生限制的問題。技術實現要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設置；第二區(qū)段內頂棚軌道。雨花臺區(qū)常見真空搬運機推薦廠家！

    并成為從第1、第二行駛部41a、41b懸掛的狀態(tài)。例如可以使用螺釘和螺母等緊固部件，也可以使用焊接等在上部支承體47安裝第1、第二桅桿42a、42b。此外，第1、第二桅桿42a、42b可以是一根，例如，可以分別設置于第1、第二行駛部41a、41b的行駛方向的前后。另外，第1、第二起重機40a、40b使用兩臺第1、第二行駛部41a、41b(參照圖2和圖3)。兩臺第1、第二行駛部41a、41b沿行駛方向排列配置，被上部支承體47連結。第1、第二桅桿42a、42b被兩臺第1、第二行駛部41a、41b支承。這樣，能夠利用兩臺第1、第二行駛部41a、41b可靠地支承作為重物的第1、第二桅桿42a、42b。此外，第1、第二起重機40a、40b并不限定于使用兩臺第1、第二行駛部41a、41b，也可以使用1臺或者3臺以上的第1、第二行駛部41a、41b。第1起重機40a的第1行駛部41a能夠從第1區(qū)段內頂棚軌道11駛入區(qū)段間頂棚軌道地進行行駛。即，第1行駛部41a能夠從第1區(qū)段內頂棚軌道11經由第1連接軌道15或者第二連接軌道16駛入第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進行行駛。第二起重機40b的第二行駛部41b能夠從第二區(qū)段內頂棚軌道12駛入區(qū)段間頂棚軌道地進行行駛。即。浦口區(qū)米袋真空搬運機推薦廠家！豐縣象鼻子真空搬運機生產廠家

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    其具備沿著第二區(qū)段內頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導而升降的第二移送部；以及高架搬運車，其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅動部、以及使升降驅動部向側方突出的橫向伸出機構，上述行駛部沿著第1區(qū)段內頂棚軌道、第二區(qū)段內頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛，其中，第1起重機在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運物品，第二起重機在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品，高架搬運車在第1交接端口與第二交接端口之間搬運物品。根據本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)以及搬運方法，通過第1、第二起重機進行區(qū)段內的物品的搬運，從而能夠增加物品的保管數量，通過高架搬運車進行區(qū)段間的物品的搬運，從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設備的干擾。另外，由于能夠防止沿著區(qū)段內頂棚軌道行駛的第1、第二起重機的第1、第二桅桿與裝載端口、第1、第二保管部、以及第1、第二交接端口的干擾，并且將區(qū)段內頂棚軌道由第1、第二起重機和高架搬運車共享，因此無需分別對應地另外設置頂棚軌道，能夠減少頂棚軌道的鋪設所需要的成本。另外。豐縣象鼻子真空搬運機生產廠家