保持部53與線材或者帶狀物等懸掛部件53b連接。保持部53從升降驅(qū)動部54懸掛且以能夠擺動的狀態(tài)升降。保持部53可以與上述的第1、第二起重機40a、40b的保持部49是同一結(jié)構(gòu)，也可以是不同結(jié)構(gòu)。升降驅(qū)動部54例如是升降機，通過抽出懸掛部件53b而使保持部53下降，通過卷繞懸掛部件53b而使保持部53上升。升降驅(qū)動部54被控制裝置60等控制，使保持部53以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，升降驅(qū)動部54被控制裝置60等控制，將保持部53保持于目標高度。橫向伸出機構(gòu)55例如具有在上下方向重疊配置的可動板?？蓜影迥軌蛳蛐旭偛?1的行駛方向的側(cè)方(與行駛方向正交的方向)移動。在可動板安裝有轉(zhuǎn)動部和升降驅(qū)動部54。主體部52具有引導橫向伸出機構(gòu)55的未圖示的引導件、和驅(qū)動橫向伸出機構(gòu)55的未圖示的驅(qū)動部等。橫向伸出機構(gòu)55通過來自電動馬達等驅(qū)動部的驅(qū)動力，使升降驅(qū)動部54和保持部53沿著引導件，在突出位置與收納位置之間移動。突出位置是從主體部52向側(cè)方突出的位置。收納位置是收納于主體部52內(nèi)的位置。轉(zhuǎn)動部具有未圖示的轉(zhuǎn)動部件和轉(zhuǎn)動驅(qū)動部。轉(zhuǎn)動部件被設置為能夠圍繞上下方向的軸進行轉(zhuǎn)動。轉(zhuǎn)動部件安裝于升降驅(qū)動部54或者保持部53。轉(zhuǎn)動驅(qū)動部使用電動馬達等。溧水區(qū)多功能真空搬運機推薦廠家！上海多功能真空搬運機供應

    本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術(shù)：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設置花費成本，需要用于鋪設各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。上海多功能真空搬運機供應棲霞區(qū)多功能真空搬運機推薦廠家！

    并成為從第1、第二行駛部41a、41b懸掛的狀態(tài)。例如可以使用螺釘和螺母等緊固部件，也可以使用焊接等在上部支承體47安裝第1、第二桅桿42a、42b。此外，第1、第二桅桿42a、42b可以是一根，例如，可以分別設置于第1、第二行駛部41a、41b的行駛方向的前后。另外，第1、第二起重機40a、40b使用兩臺第1、第二行駛部41a、41b(參照圖2和圖3)。兩臺第1、第二行駛部41a、41b沿行駛方向排列配置，被上部支承體47連結(jié)。第1、第二桅桿42a、42b被兩臺第1、第二行駛部41a、41b支承。這樣，能夠利用兩臺第1、第二行駛部41a、41b可靠地支承作為重物的第1、第二桅桿42a、42b。此外，第1、第二起重機40a、40b并不限定于使用兩臺第1、第二行駛部41a、41b，也可以使用1臺或者3臺以上的第1、第二行駛部41a、41b。第1起重機40a的第1行駛部41a能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道地進行行駛。即，第1行駛部41a能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11經(jīng)由第1連接軌道15或者第二連接軌道16駛?cè)氲?區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進行行駛。第二起重機40b的第二行駛部41b能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道地進行行駛。即。

    驅(qū)動部45b被控制裝置60等控制，使第1、第二升降臺43a、43b以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，驅(qū)動部45b被控制裝置60等控制，將第1、第二升降臺43a、43b保持于目標高度。雖然第1、第二升降驅(qū)動部45a、45b設置于上部支承體47(第1、第二行駛部41a、41b)，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。第1、第二升降驅(qū)動部45a、45b例如也可以設置于第1、第二升降臺43a、43b。作為在第1、第二升降臺43a、43b設置第1、第二升降驅(qū)動部45a、45b的結(jié)構(gòu)，例如可以利用搭載于第1、第二升降臺43a、43b的升降機等對從上部支承體47懸掛的帶狀物或者線材等進行卷起或者抽出而使第1、第二升降臺43a、43b升降。另外，也可以在第1、第二升降臺43a、43b搭載用于驅(qū)動小齒輪的電動馬達等，在第1、第二桅桿42a、42b形成供該小齒輪嚙合的齒條，驅(qū)動電動馬達等而使小齒輪旋轉(zhuǎn)由此使第1、第二升降臺43a、43b升降。如圖4所示，第1、第二起重機40a、40b在第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。另外，第1、第二起重機40a、40b將物品2從當前的第1、第二保管部20a、20b向其他第1、第二保管部20a、20b搬運。例如。江寧區(qū)粉塵真空搬運機推薦廠家！

    5.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述旋臂的下端面上開設有導軌，搬運管的頂端與導軌滑動連接。6.如權(quán)利要求5所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述導軌上還滑動連接有數(shù)個掛鉤，靠近搬運管端的連接管通過掛鉤安裝在旋臂上。7.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述真空吸盤裝置包括控制頭、數(shù)個吸盤、操作手柄，控制頭包括頂端開設有開口一、底端開設有開口二的殼體，開口一與搬運管底端連通，開口二通過數(shù)根支管與各吸盤一一對應連通，開口二上設置有位于殼體內(nèi)的閥門，閥門底部的觸頭螺栓位于殼體外部，且觸頭螺栓的底面低于吸盤的吸附接觸面，操作手柄固定在控制頭上。8.如權(quán)利要求7所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述閥門包括閥片和數(shù)根外壁上套置有彈簧的光桿螺桿，光桿螺桿均勻分布并固定在開口二的四周，閥片配合將開口二封閉并活動套置在各光桿螺桿下端，同時由彈簧抵住。9.如權(quán)利要求7所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述控制頭帶有真空表，操作手柄為帶旋轉(zhuǎn)手把的操作手柄。10.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述真空泵安裝在箱體內(nèi)，箱體置于地面上；所述搬運管為可伸縮式搬運管。江寧區(qū)牛皮袋真空搬運機推薦廠家！秦淮區(qū)牛皮袋真空搬運機品牌

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    發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于克服以上不足，提供一種新型真空搬運機械手，利用真空原理，吸附物體，進而平衡物體的重力，使操作人員在基本感覺不到物體重力的情況下，輕松完成物體的搬運、翻轉(zhuǎn)、裝配等工序，操作簡單、運作省力、高效安全。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是含有萬向輪、移動小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉(zhuǎn)座、主旋轉(zhuǎn)軸、主關(guān)節(jié)鎖死裝置、大側(cè)板、擺動主臂、擺動副臂、副關(guān)節(jié)鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉(zhuǎn)座、旋轉(zhuǎn)臂主軸、旋轉(zhuǎn)臂、垂臂旋轉(zhuǎn)座、副旋轉(zhuǎn)軸、下垂臂、扶手、真空吸盤，移動小車截面呈長方形，其底部四角各設有一萬向輪，移動小車頂端中部設有立柱，左側(cè)設有拉桿，立柱頂端設有主旋轉(zhuǎn)座，可旋轉(zhuǎn)360°，主旋轉(zhuǎn)座通過主旋轉(zhuǎn)軸與大側(cè)板相連接，大側(cè)板內(nèi)設有氣壓控制閥，氣壓控制閥與主升降氣缸相連接，大側(cè)板左側(cè)下端設有主升降氣缸，大側(cè)板上設有內(nèi)側(cè)板，主旋轉(zhuǎn)座和大側(cè)板之間設有主關(guān)節(jié)鎖死裝置，擺動主臂和擺動副臂一端分別與大側(cè)板相連接，另一端分別與連接板相連接，擺動主臂位于擺動副臂下側(cè)并與擺動副臂相平行，橫臂旋轉(zhuǎn)座通過旋轉(zhuǎn)臂主軸與旋轉(zhuǎn)臂相連接，旋轉(zhuǎn)臂可旋轉(zhuǎn)300°，旋轉(zhuǎn)臂和橫臂旋轉(zhuǎn)座之間設有副關(guān)節(jié)鎖死裝置。上海多功能真空搬運機供應