前端活動架位于中間活動板的前端側(cè)，中間活動板與固定安裝豎板之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副，前端活動架與中間活動板之間裝設(shè)有呈豎向布置的豎向?qū)к壐?，前端活動架的下端部裝設(shè)有吸盤安裝架，吸盤安裝架裝設(shè)有真空吸盤；固定安裝豎板的前表面開設(shè)有呈“n”形狀的活動槽，前端活動架螺裝有活動架驅(qū)動塊，活動架驅(qū)動塊裝設(shè)有活動架驅(qū)動軸，活動架驅(qū)動軸伸入至固定安裝豎板的活動槽內(nèi)且活動架驅(qū)動軸裝設(shè)有嵌插于活動槽內(nèi)的軸承；固定安裝豎板的后表面裝設(shè)有機械手驅(qū)動電機，機械手驅(qū)動電機的動力輸出軸裝設(shè)有位于活動槽旁側(cè)且用于撥動活動架驅(qū)動軸動作的驅(qū)動軸撥動塊。通過上述結(jié)構(gòu)設(shè)計，本實用新型具有設(shè)計新穎、結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定可靠性好的優(yōu)點。附圖說明下面利用附圖來對本實用新型進行進一步的說明，但是附圖中的實施例不構(gòu)成對本實用新型的任何限制。圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實用新型另一視角的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實用新型的分解示意圖。溧水區(qū)常見真空搬運機推薦廠家！鐘樓區(qū)工業(yè)真空搬運機原理
第1、第二起重機40a、40b能夠在上下的第1、第二保管部20a、20b之間搬運物品2。另外，在物品2被高架搬運車50載置于第1交接端口30a的情況下，若第1起重機40a能夠搬運至作為搬運目的地的第1處理裝置tl1的裝載端口lp，則將物品2搬運至該裝載端口lp，若第1起重機40a不能搬運至作為搬運目的地的裝載端口lp，則將物品2搬運至第1保管部20a，在變?yōu)槟軌虬徇\的時刻將物品2從第1保管部20a搬運至作為搬運目的地的第1處理裝置tl1的裝載端口lp。另外，在物品2被高架搬運車50載置于第二交接端口30b的情況下，若第二起重機40b能夠搬運至作為搬運目的地的第二處理裝置tl2的裝載端口lp，則將物品2搬運至該裝載端口lp，若第二起重機40b不能搬運至作為搬運目的地的裝載端口lp，則將物品2搬運至第二保管部20b，在變?yōu)槟軌虬徇\的時刻將物品2從第二保管部20b搬運至作為搬運目的地的第二處理裝置tl2的裝載端口lp。在搬運系統(tǒng)100中，高架搬運車50在不同的第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間搬運物品2。高架搬運車50的行駛速度被設(shè)定為比第1、第二起重機40a、40b快。其結(jié)果是，即便是在遠離的第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2之間也能夠通過高架搬運車50在短時間內(nèi)搬運物品2。此外。梁溪區(qū)真空搬運機原理浦口區(qū)常見真空搬運機推薦廠家！
5.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述旋臂的下端面上開設(shè)有導(dǎo)軌，搬運管的頂端與導(dǎo)軌滑動連接。6.如權(quán)利要求5所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述導(dǎo)軌上還滑動連接有數(shù)個掛鉤，靠近搬運管端的連接管通過掛鉤安裝在旋臂上。7.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述真空吸盤裝置包括控制頭、數(shù)個吸盤、操作手柄，控制頭包括頂端開設(shè)有開口一、底端開設(shè)有開口二的殼體，開口一與搬運管底端連通，開口二通過數(shù)根支管與各吸盤一一對應(yīng)連通，開口二上設(shè)置有位于殼體內(nèi)的閥門，閥門底部的觸頭螺栓位于殼體外部，且觸頭螺栓的底面低于吸盤的吸附接觸面，操作手柄固定在控制頭上。8.如權(quán)利要求7所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述閥門包括閥片和數(shù)根外壁上套置有彈簧的光桿螺桿，光桿螺桿均勻分布并固定在開口二的四周，閥片配合將開口二封閉并活動套置在各光桿螺桿下端，同時由彈簧抵住。9.如權(quán)利要求7所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述控制頭帶有真空表，操作手柄為帶旋轉(zhuǎn)手把的操作手柄。10.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運機，其特征在于所述真空泵安裝在箱體內(nèi)，箱體置于地面上；所述搬運管為可伸縮式搬運管。
能夠?qū)⒃诘?、第二處理裝置tl1、tl2之間產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。針對保管架80的保管部320，第1、第二起重機40能夠進行物品2的交接。另外，針對保管架80的上表面80a的交接端口330，第1、第二起重機40a、40b和高架搬運車50雙方能夠進行物品2的交接。另外，第1、第二起重機40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運物品2。此外，在圖10中，示出設(shè)置保管部220和保管架80雙方的例子，但也可以代替該結(jié)構(gòu)，是在裝載端口lp的上方不設(shè)置保管部220，在第1、第二處理裝置tl1、tl2與第1、第二處理裝置tl1、tl2之間(或者裝載端口lp與裝載端口lp之間)設(shè)置保管架80的結(jié)構(gòu)。例如，也可以是在圖1所示的第1處理裝置tl1與第1處理裝置tl1之間、或者第二處理裝置tl2與第二處理裝置tl2之間(或者裝載端口lp與裝載端口lp之間)設(shè)置保管架80的結(jié)構(gòu)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，與上述相同地，能夠?qū)⒃诘?、第二處理裝置tl1、tl2間(裝載端口lp間)產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。這樣，通過配置保管部220、和具備保管部320的保管架80，在搬運系統(tǒng)100中，能夠容易地使物品2的保管數(shù)量增大。此外，在搬運系統(tǒng)100中，保管部220或者保管架80的設(shè)置數(shù)量能夠任意地設(shè)定。以上，對實施方式進行了說明。棲霞區(qū)牛皮袋真空搬運機推薦廠家！
圖7是表示通過高架搬運車搬運物品時的移動路徑的一個例子的圖。圖8是接著圖7，通過高架搬運車搬運物品時的移動路徑的一個例子的圖。圖9是接著圖8，通過高架搬運車搬運物品時的移動路徑的一個例子的圖。圖10是表示保管部和交接端口的其他例子的圖。具體實施方式以下，參照附圖對實施方式進行說明。在以下的各圖中，使用xyz坐標系對圖中的方向進行說明。在該xyz坐標系中，將鉛直方向設(shè)為z方向，將水平方向設(shè)為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個方向，是沿著后述的第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向，是沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外，關(guān)于x、y、z方向的各方向，適當?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如，+x側(cè))，將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如，-x側(cè))。圖1是表示本實施方式所涉及的搬運系統(tǒng)100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等，對收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進行搬運。在本實施方式中，使用物品2是foup的例子來進行說明，但物品2也可以是除foup以外的物品。另外。浦口區(qū)多功能真空搬運機推薦廠家！梁溪區(qū)真空搬運機原理
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搬運系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2可以是由用于設(shè)置搬運系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實施方式中，搬運系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運系統(tǒng)100所搬運的物品2的半導(dǎo)體晶圓實施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個例子的圖。在圖2中表示從+x側(cè)觀察第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個例子。如圖1和圖2所示，第1處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的第1裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第1、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個。沿y方向排列的多個第1、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設(shè)置多列。此外，多個第1、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個例子，也可以是其他配置。另外。鐘樓區(qū)工業(yè)真空搬運機原理
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