并使轉(zhuǎn)動(dòng)部件圍繞上下方向的軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)部通過來自轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力而轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠使升降驅(qū)動(dòng)部54或者保持部53圍繞上下方向的軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。通過該轉(zhuǎn)動(dòng)部能夠?qū)⒈槐３植?3保持的物品2的朝向改變。此外，高架搬運(yùn)車50也可以不具備轉(zhuǎn)動(dòng)部。圖6是表示第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51的一個(gè)例子的圖。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51例如采用共用的結(jié)構(gòu)(同一結(jié)構(gòu)或者大致同一結(jié)構(gòu))。另外，對于頂棚軌道10中的第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14而言，與行駛方向正交的平面的截面相同或者大致相同，第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51中的任一者均能夠行駛。這樣，由于第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51共用，因此無需按照其他結(jié)構(gòu)制造第1、第二行駛部41a、41b與行駛部51，能夠減少第1、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50的制造成本。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51具有：多個(gè)車輪71a，它們與頂棚軌道10的下方的內(nèi)表面抵接；和行駛部主體71b，其安裝有上述多個(gè)車輪71a。行駛部主體71b具備用于驅(qū)動(dòng)車輪71a的行駛驅(qū)動(dòng)部、和各種傳感器。頂棚軌道10具備供電部70。溧水區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！閔行區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)哪里可以買到

本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對應(yīng)，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。閔行區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)哪里可以買到棲霞區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    控制頭19包括頂端開設(shè)有開口一22、底端開設(shè)有開口二23的殼體24，開口一22與搬運(yùn)管15底端連通，開口二23通過數(shù)根支管29與各吸盤20——對應(yīng)連通(即一根支管29連通一個(gè)吸盤20)，開口二23上設(shè)置有位于殼體24內(nèi)的閥門，閥門底部的觸頭螺栓26位于殼體24外部，且觸頭螺栓26的底面低于吸盤20的吸附接觸面(本實(shí)施例的各吸盤20位于同一水平面上)，操作手柄21固定在控制頭19上。其中，控制頭19帶有真空表27，以便于隨時(shí)了解控制頭19內(nèi)的真空度情況；操作手柄21為帶旋轉(zhuǎn)手把的操作手柄，可隨意控制搬運(yùn)管15的上升、下降，以方便搬運(yùn)。其中，閥門包括閥片25和數(shù)根外壁上套置有彈簧28的光桿螺桿29，光桿螺桿29均勻分布并固定在開口二23的四周，閥片25配合將開口二23封閉并活動(dòng)套置在各光桿螺桿29下端，同時(shí)由彈簧28抵住。本實(shí)用新型對被搬運(yùn)物體的搬運(yùn)動(dòng)作過程如下開啟真空泵13，在真空吸盤裝置對著被搬運(yùn)物體下壓的過程中，其觸頭螺栓26會(huì)先觸碰到被搬運(yùn)物體，在觸頭螺栓26的向上推力作用下，閥片25被頂開，真空作用力依次通過開口二23、支管29進(jìn)入吸盤20，終實(shí)現(xiàn)對被搬運(yùn)物體的吸附、搬運(yùn)。搬運(yùn)到位后，關(guān)閉真空泵13，閥片25在彈簧28的彈性恢復(fù)作用力下被頂回原位，將開口二23密封。

    可旋轉(zhuǎn)360°，垂臂旋轉(zhuǎn)座與副旋轉(zhuǎn)軸相連接，副旋轉(zhuǎn)軸與下垂臂相連接，下垂臂上設(shè)有扶手，扶手上設(shè)有電腦控制盒，下垂臂末端設(shè)有真空吸盤，真空吸盤下端吸有工件。摘要一種新型真空搬運(yùn)機(jī)械手，屬于一種機(jī)械手。機(jī)械手立柱頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座，主旋轉(zhuǎn)座通過主旋轉(zhuǎn)軸與大側(cè)板相連接，大側(cè)板左側(cè)下端設(shè)有主升降氣缸，主旋轉(zhuǎn)座和大側(cè)板之間設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置，擺動(dòng)主臂和擺動(dòng)副臂一端分別與大側(cè)板相連接，另一端分別與連接板相連接，橫臂旋轉(zhuǎn)座通過旋轉(zhuǎn)臂主軸與旋轉(zhuǎn)臂相連接，旋轉(zhuǎn)臂和橫臂旋轉(zhuǎn)座之間設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置，旋轉(zhuǎn)臂末端設(shè)有垂臂旋轉(zhuǎn)座，垂臂旋轉(zhuǎn)座與副旋轉(zhuǎn)軸相連接，副旋轉(zhuǎn)軸與下垂臂相連接，下垂臂末端設(shè)有真空吸盤。該機(jī)械手利用真空原理，吸附物體，進(jìn)而平衡物體的重力，使操作人員在基本感覺不到物體重力的情況下，輕松完成物體的搬運(yùn)、翻轉(zhuǎn)、裝配等工序，操作簡單、運(yùn)作省力、高效安全。棲霞區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    并且沿著裝載端口lp設(shè)置。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11是以包圍第1保管區(qū)域sa1的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道，第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12是以包圍第二保管區(qū)域sa2的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11具有直線部11a和循環(huán)部11b。直線部11a在裝載端口lp的正上方沿著多個(gè)裝載端口lp在y方向上配置。直線部11a在俯視下分別配置于第1保管區(qū)域sa1與隔著第1保管區(qū)域sa1對置配置的多個(gè)裝載端口lp之間。循環(huán)部11b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個(gè)直線部11a彼此連接。第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11相同地，具有直線部12a和循環(huán)部12b。直線部12a在裝載端口lp的正上方沿著裝載端口lp與y方向平行地配置。直線部12a在俯視下分別配置于第二保管區(qū)域sa2與隔著第二保管區(qū)域sa2對置配置的多個(gè)裝載端口lp之間。循環(huán)部12b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個(gè)直線部12a彼此連接。此外，在本實(shí)施方式中，示出第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12是同一形狀或者大致同一形狀的例子，但第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12也可以是不同形狀。第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14被設(shè)置為分別沿著x方向呈直線狀延伸。棲霞區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！閔行區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)哪里可以買到

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    其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部；以及高架搬運(yùn)車，其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動(dòng)部、以及使升降驅(qū)動(dòng)部向側(cè)方突出的橫向伸出機(jī)構(gòu)，上述行駛部沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛，其中，第1起重機(jī)在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運(yùn)物品，第二起重機(jī)在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運(yùn)物品，高架搬運(yùn)車在第1交接端口與第二交接端口之間搬運(yùn)物品。根據(jù)本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法，通過第1、第二起重機(jī)進(jìn)行區(qū)段內(nèi)的物品的搬運(yùn)，從而能夠增加物品的保管數(shù)量，通過高架搬運(yùn)車進(jìn)行區(qū)段間的物品的搬運(yùn)，從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設(shè)備的干擾。另外，由于能夠防止沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第1、第二起重機(jī)的第1、第二桅桿與裝載端口、第1、第二保管部、以及第1、第二交接端口的干擾，并且將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道由第1、第二起重機(jī)和高架搬運(yùn)車共享，因此無需分別對應(yīng)地另外設(shè)置頂棚軌道，能夠減少頂棚軌道的鋪設(shè)所需要的成本。另外。閔行區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)哪里可以買到

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