如何選擇真空計?考慮測量范圍與精度:不同的真空計有不同的測量范圍,需要根據(jù)實際需求選擇。例如,熱陰極電離真空計適用于高真空環(huán)境(10-11 mbar),而熱阻式真空計則適用于氣壓在10-9 mbar范圍內(nèi)的測量。精度是選擇真空計時需要考慮的另一個重要因素。需要根據(jù)物體不同的尺寸、物理量等來選擇精度要求更高的真空計。考慮被測氣體與環(huán)境:部分真空計對被測氣體有要求。例如,熱陰極電離真空計的陰極易受過量空氣及泵油蒸氣等污染物的損害,因此需要考慮被測氣體是否會對真空計造成損傷。部分真空計會影響被測環(huán)境。例如,壓縮式真空計在測量時要壓縮被測氣體,這可能會使水蒸氣凝結(jié),從而影響被測真空環(huán)境。真空計按原理可以分哪幾類?四川mems電容真空計設(shè)備供應(yīng)商
真空計按測量原理分類
靜態(tài)液位真空計測量原理:利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測量壓力的變化。壓縮式真空計測量原理:在U型管的基礎(chǔ)上應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測壓力的氣體,經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計測量,然后用體積和壓力的關(guān)系計算被測壓力。熱傳導(dǎo)真空計測量原理:利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)的原理制成。示例:電阻真空計、熱偶真空計等。熱輻射真空計測量原理:利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)的原理。 四川皮拉尼真空計生產(chǎn)廠家皮拉尼真空計是一種測量真空壓力的儀器,它是根據(jù)皮拉尼原理制成的。
根據(jù)測量原理的不同,真空計可以分為多種類型:波爾登規(guī):利用細銅管在不同氣壓下的舒展現(xiàn)象進***壓測量。薄膜電容規(guī):利用金屬膜片在不同壓力下變形導(dǎo)致的電容變化進***壓測量。皮拉尼電阻規(guī):利用電阻與溫度之間的關(guān)系,通過測量加熱電阻絲的溫度變化來推算氣壓。熱電偶規(guī):與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,但用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。熱陰極電離規(guī):通過發(fā)射電子電離真空中的氣體分子,產(chǎn)生離子,并測量離子電流的大小來推算氣壓。冷陰極電離規(guī):利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子,并測量離子電流的大小來推算氣壓。
真空計的歷史沿革1946年:,是一種***型高真空真空計。。1948年:,是典型的一類氣體組分與分壓強測量的真空計。1949年:、、,也是測量氣體組分及分壓強的一類重要的真空計。1950年:(又稱熱陰極超高真空電離真空計),解決了超高真空測量問題,推動了超高真空技術(shù)的發(fā)展。1951年:、、,是一種與氣體種類無關(guān)的***型真空計。1953年:、,此類真空計**小可檢測分壓強達10^-14Pa。1957年:德國人、高壓強電離真空計,盡量利用離子流的較好的線性等優(yōu)點來代替熱傳導(dǎo)規(guī)的不足。1959年:,制造工藝過于復(fù)雜難以推廣應(yīng)用。1960年以來:相繼研制成功的調(diào)制規(guī)、抑制規(guī)、彎注規(guī)、分離規(guī)和磁控式電離規(guī)等已能實現(xiàn)10^-11Pa左右的超高真空測量。七十年代后的二三十年:真空測量技術(shù)領(lǐng)域在新原理方面沒有出現(xiàn)明顯突破性的進展,較多的是在基本清晰的原理思路上的改進與補充,處于一個相對穩(wěn)定的時期。 真空計有哪幾種常見的類型?
金屬薄膜真空計是一種基于金屬薄膜在真空中阻力變化或熱傳導(dǎo)特性來測量壓力的真空計。以下是對金屬薄膜真空計的詳細介紹:一、基本原理金屬薄膜真空計利用金屬薄膜在真空中的特定物理性質(zhì)來測量壓力。具體來說,有兩種主要的工作原理:阻力變化原理:當(dāng)氣體分子撞擊金屬薄膜時,會產(chǎn)生微小的壓力變化,這種變化會影響薄膜振蕩的固有頻率,從而間接測量壓力大小。這種方法通常用于高真空環(huán)境下的測量,因為在此環(huán)境下,氣體分子對薄膜的撞擊作用更加明顯。熱傳導(dǎo)原理:金屬薄膜真空計還可以利用真空中的熱傳導(dǎo)特性來測量氣壓。當(dāng)薄膜暴露在低壓氣氛中時,會發(fā)生熱量損失,損失的熱量與氣壓成正比。通過測量熱量損失,可以計算出真實的氣壓值。這種方法通常涉及一個加熱元件(如熱陰極)和一個金屬薄膜,加熱元件發(fā)射的電子在真空中運動并撞擊薄膜,從而產(chǎn)生熱量損失。如何減少電磁干擾對皮拉尼真空計的影響?四川mems電容真空計多少錢
真空計種類那么多,應(yīng)該如何選擇?四川mems電容真空計設(shè)備供應(yīng)商
不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量,主要包括以下幾類:
利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的真空計:如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動過程中產(chǎn)生的熱效應(yīng)或電效應(yīng)來測量真空度。皮拉尼電阻規(guī)是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,當(dāng)給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。
利用帶電粒子效應(yīng)的真空計:如熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),它們通過測量氣體分子在電離過程中產(chǎn)生的電流來推算真空度。這類真空計在高真空領(lǐng)域具有極高的測量精度。 四川mems電容真空計設(shè)備供應(yīng)商