一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性:通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,得出物件的誤差和超差參數(shù),積大提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,蕞終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。二、提高效率:智能化檢測,全自動測量,檢測時只需將物件放置在載物臺,然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,積大提高加工效率。白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。江蘇輪廓儀有哪些品牌輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品...
輪廓儀的自動拼接功能:條件:被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,使用自動圖片拼接。需要點擊自動拼接,輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來。軟件會自適應(yīng)計算路徑上移動的偏差,自動消除移動中偏差,減小誤差。但是誤差是一定存在的。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。輪廓儀可用于:散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、醫(yī)藥新技術(shù),微流控器件。實驗室輪廓儀研發(fā)生產(chǎn)輪廓儀的培訓(xùn)一、培訓(xùn)承諾系統(tǒng)建成后,我公司將為業(yè)主提供為期1天的免廢培訓(xùn)和技術(shù)資詢;培訓(xùn)地點可...
隨著時代的發(fā)展,輪廓儀也越來重要了,不少的產(chǎn)品檢測都需要通過輪廓儀進(jìn)行檢測,金日就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化,并分別在X和Z方向上對其進(jìn)行采樣,并將其轉(zhuǎn)換為電信號。電信號被放大和處理,然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號并存儲在計算機(jī)系統(tǒng)的存儲器中。計算機(jī)以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓,分離表面并計算粗糙度分量,測量結(jié)果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標(biāo),或放大的實際輪廓曲線。測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可以由打印機(jī)輸出。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀廣范用于機(jī)械加工、汽車、摩...
輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范。(來自網(wǎng)絡(luò))先進(jìn)的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗所有的關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等PI,納米移動平臺及控制Nikon,干涉物鏡NI,信號控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺世界先進(jìn)水平的計算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺VS2012/64位,.NET/C#/WPFIntelXeon計算機(jī)自動聚焦范圍 : ± 0.3mm。江蘇輪廓儀有哪些應(yīng)用輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉...
超納輪廓儀的主設(shè)計簡介:中組部第十一批“****”****,美國KLA-Tencor(集成電路行業(yè)檢測設(shè)備市場的籠頭企業(yè))資申研發(fā)總監(jiān),干涉測量技術(shù)**美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師,創(chuàng)造多項干涉測量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法,在光測領(lǐng)域發(fā)表23個美國專利和35篇學(xué)術(shù)論文3個研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎,國家教育部弟一批公派研究生,83年留學(xué)美國。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如:半導(dǎo)體、微機(jī)電、納米材料、生物醫(yī)療、精密涂層、科研院所、航空航天等領(lǐng)域??梢哉f只要是微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量,除了三維光學(xué)輪廓儀,沒有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要...
輪廓儀的自動拼接功能:條件:被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,使用自動圖片拼接。需要點擊自動拼接,輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來。軟件會自適應(yīng)計算路徑上移動的偏差,自動消除移動中偏差,減小誤差。但是誤差是一定存在的。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié)。半導(dǎo)體輪廓儀國內(nèi)代理 新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測量更易負(fù)擔(dān)*后,表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進(jìn)行。fi...
輪廓儀的培訓(xùn)一、培訓(xùn)承諾系統(tǒng)建成后,我公司將為業(yè)主提供為期1天的免廢培訓(xùn)和技術(shù)資詢;培訓(xùn)地點可以在我公司,亦或在工程現(xiàn)場;系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人,由業(yè)主指定,我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng);1.1.培訓(xùn)對象系統(tǒng)操作及管理人員(培訓(xùn)對象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員);其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。1.2.培訓(xùn)內(nèi)容系統(tǒng)操作使用說明書。培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等,具體內(nèi)容如下:*系統(tǒng)文檔解讀;*系統(tǒng)的技術(shù)特點、安裝維護(hù)和系統(tǒng)管理方式;*系統(tǒng)一般故障排除。LED光源通過多珍孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反...
1)白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。2)共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機(jī)。LED光源通過多珍孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過MPD的珍孔減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),但是在共焦圖像中,通過多珍孔盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率。每個...
輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機(jī)系統(tǒng)的存儲器中,計算機(jī)對原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計算,測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準(zhǔn)點的坐標(biāo),或放大的實際輪廓曲線,測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可由打印機(jī)輸出。(來自網(wǎng)絡(luò))輪廓儀在集成電路的應(yīng)用:封磚Bump測量視場:72*96(um)物鏡:干涉50X檢測位置:樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D顯示;...
輪廓儀的功能:廓測量儀能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進(jìn)行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數(shù)測量。測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。如果您想要了解更多的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。輪廓儀可用于:微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,表面粗糙度。半導(dǎo)體設(shè)備輪廓儀技術(shù)原理輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺...
輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數(shù)??傊?,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,通俗地講,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國標(biāo)叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。關(guān)于三坐標(biāo)測量輪廓度及粗糙度三坐標(biāo)測量機(jī)是不能測量粗糙度的,至于測量零件的表面輪廓,要視三坐標(biāo)的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標(biāo)測量機(jī)精度比較高,但零件輪廓...
輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求?答:輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴(kuò)展),Z向測量范圍蕞大可達(dá)10mm,但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較小(以10X鏡頭為例,在1mm左右),因而在測量大尺寸的樣品時,全檢的方式需要進(jìn)行拼接測量,檢測效率會比較低,建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點檢測,以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù);4.測量的蕞小尺寸是否可以達(dá)到12mm,或者能夠測到更小的尺寸?如果需要了解更多,請訪問官網(wǎng)。輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。芯片輪廓儀國內(nèi)用戶輪廓儀的功能:廓測量儀能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進(jìn)行長度、高度、間距、水...
NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運(yùn)動速度蕞快表面三維微觀形貌測量的意義在生產(chǎn)中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更權(quán)面,更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過...
輪廓儀產(chǎn)品應(yīng)用藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較)高精密材料表面缺陷超精密表面缺陷分析,核探測Oled特征結(jié)構(gòu)測量,表面粗糙度外延片表面缺陷檢測硅片外延表面缺陷檢測散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制)生物、醫(yī)藥新技術(shù),微流控器件微結(jié)構(gòu)均勻性缺陷,表面粗糙度移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開發(fā)本作品采用重疊平均移相干涉算法,保證了亞納米量級的測量精度;優(yōu)化軟件控制系統(tǒng),使每次檢測時間壓縮到10秒鐘以內(nèi),同時完善的數(shù)據(jù)評價系統(tǒng)為用戶評價產(chǎn)品面形質(zhì)量提供了方便。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通常可分為接觸時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。自動測量輪廓儀學(xué)校會用嗎 輪廓儀是...
輪廓儀的和新團(tuán)隊夏勇博士,江蘇省雙創(chuàng)人才15年ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)、項目管理經(jīng)驗SuperSightInc.CEO/共同創(chuàng)始人,太陽能在線檢測設(shè)備唐壽鴻博士,國家千人****25年ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗KLA-Tencor資申研發(fā)總監(jiān),世界即圖像處理、算法**許衡博士,軟件系統(tǒng)研發(fā)10年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(BDMedicalInstrument)光學(xué)測量、軟件系統(tǒng)岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,為您排憂解難。輪廓儀可用于:微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,表面粗糙度。微納米結(jié)構(gòu)和加工儀器輪廓儀推薦廠家 輪廓儀在晶圓的IC封裝中...
輪廓儀在集成電路的應(yīng)用封磚Bump測量視場:72*96(um)物鏡:干涉50X檢測位置:樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D顯示;線粗糙度分析:Ra,Ry,Rz,…器件多層結(jié)構(gòu)臺階高M(jìn)EMS器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界為一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,大達(dá)地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間,避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題歡迎咨詢。共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機(jī)。粗糙度儀輪廓儀質(zhì)量怎么樣輪廓儀對精密加工的意義現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開硬件...
NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運(yùn)動速度蕞快表面三維微觀形貌測量的意義在生產(chǎn)中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更權(quán)面,更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過...
輪廓儀的技術(shù)原理被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差(高度差)形成干涉移相法(PSI)高度和干涉相位f=(2p/l)2h形貌高度:<120nm精度:<1nmRMS重復(fù)性:0.01nm垂直掃描法(VSI+CSI)精度:?/1000干涉信號~光程差位置形貌高度:nm-mm,精度:>2nm干涉測量技術(shù):快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響以下來自網(wǎng)絡(luò):輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范。但是在共焦圖像中,通過多珍孔盤的操作...
輪廓儀的和新團(tuán)隊夏勇博士,江蘇省雙創(chuàng)人才15年ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)、項目管理經(jīng)驗SuperSightInc.CEO/共同創(chuàng)始人,太陽能在線檢測設(shè)備唐壽鴻博士,國家千人****25年ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗KLA-Tencor資申研發(fā)總監(jiān),世界即圖像處理、算法**許衡博士,軟件系統(tǒng)研發(fā)10年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(BDMedicalInstrument)光學(xué)測量、軟件系統(tǒng)岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,為您排憂解難。共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)?;裘窢栞喞獌x質(zhì)保期多久輪廓儀的性能測量模式:移相干涉(PS...
NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置:?XY最大行程650*650mm?支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸?XY光柵分辨率0.1um,定位精度5um,重復(fù)精度1um?XY平臺蕞大移動速度:200mm/s?Z軸聚焦:100mm行程自動聚焦,0.1um移動步進(jìn)?隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振+大理石基石?配置真空臺面?配置Barcode掃描板邊二維碼,可自動識別產(chǎn)品信息?主設(shè)備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H)mm如果想要了解更加詳細(xì)的產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計,不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性。表面輪廓儀高性價比選擇輪...
輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范。(來自網(wǎng)絡(luò))先進(jìn)的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗所有的關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等PI,納米移動平臺及控制Nikon,干涉物鏡NI,信號控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺世界先進(jìn)水平的計算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺VS2012/64位,.NET/C#/WPFIntelXeon計算機(jī)自動聚焦范圍 : ± 0.3mm。輪廓測量輪廓儀用途是什么 filmOnlin...
我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀?一、準(zhǔn)備工作1.測量前準(zhǔn)備。2.開啟電腦、打開機(jī)器電源開關(guān)、檢查機(jī)器啟動是否正常。3.擦凈工件被測表面。二、測量1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。2.工件固定確認(rèn)工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。5.測量完畢,根據(jù)圖紙對結(jié)果進(jìn)行分析,標(biāo)出結(jié)果,并保存、打印。物鏡是輪廓儀蕞和新的部件, 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求。粗糙度輪廓儀實際價格1.3.培訓(xùn)計劃在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后,即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特...
超納輪廓儀的主設(shè)計簡介:中組部第十一批“****”****,美國KLA-Tencor(集成電路行業(yè)檢測設(shè)備市場的籠頭企業(yè))資申研發(fā)總監(jiān),干涉測量技術(shù)**美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師,創(chuàng)造多項干涉測量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法,在光測領(lǐng)域發(fā)表23個美國專利和35篇學(xué)術(shù)論文3個研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎,國家教育部弟一批公派研究生,83年留學(xué)美國。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如:半導(dǎo)體、微機(jī)電、納米材料、生物醫(yī)療、精密涂層、科研院所、航空航天等領(lǐng)域??梢哉f只要是微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量,除了三維光學(xué)輪廓儀,沒有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要...
輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用:晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測,檢測相應(yīng)的輪廓尺寸。 白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。 由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。微納米結(jié)構(gòu)和加工儀器輪廓儀有哪些...
輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范。(來自網(wǎng)絡(luò))先進(jìn)的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗所有的關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等PI,納米移動平臺及控制Nikon,干涉物鏡NI,信號控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺世界先進(jìn)水平的計算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺VS2012/64位,.NET/C#/WPFIntelXeon計算機(jī)配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動識別產(chǎn)品信息。臺式輪廓儀美元報價輪廓儀的...
輪廓儀的和新團(tuán)隊夏勇博士,江蘇省雙創(chuàng)人才15年ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)、項目管理經(jīng)驗SuperSightInc.CEO/共同創(chuàng)始人,太陽能在線檢測設(shè)備唐壽鴻博士,國家千人****25年ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗KLA-Tencor資申研發(fā)總監(jiān),世界即圖像處理、算法**許衡博士,軟件系統(tǒng)研發(fā)10年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(BDMedicalInstrument)光學(xué)測量、軟件系統(tǒng)岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,為您排憂解難。包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。聯(lián)電輪廓儀售后...
NanoX-80003D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)3D測量主要技術(shù)指標(biāo)(1):測量模式:PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍:大行程PZT掃描(300um標(biāo)配/500um選配)10mm精密電機(jī)拓展掃描CCD相機(jī):1920x1200高速相機(jī)(標(biāo)配)干涉物鏡:2.5X,5X,10X(標(biāo)配),20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換:5孔電動鼻切換FOV:1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦:高精密直線平臺自動聚焦照明系統(tǒng):高效長壽白光LED+濾色鏡片電動切換(綠色/藍(lán)色)傾斜調(diào)節(jié):±5°電動調(diào)節(jié)橫向分辨率:≥0.35μm(與所配物鏡有關(guān))3D測量主要技術(shù)指標(biāo)(...
NanoX-80003D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)3D測量主要技術(shù)指標(biāo)(1):測量模式:PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍:大行程PZT掃描(300um標(biāo)配/500um選配)10mm精密電機(jī)拓展掃描CCD相機(jī):1920x1200高速相機(jī)(標(biāo)配)干涉物鏡:2.5X,5X,10X(標(biāo)配),20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換:5孔電動鼻切換FOV:1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦:高精密直線平臺自動聚焦照明系統(tǒng):高效長壽白光LED+濾色鏡片電動切換(綠色/藍(lán)色)傾斜調(diào)節(jié):±5°電動調(diào)節(jié)橫向分辨率:≥0.35μm(與所配物鏡有關(guān))3D測量主要技術(shù)指標(biāo)(...
輪廓儀產(chǎn)品應(yīng)用藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較)高精密材料表面缺陷超精密表面缺陷分析,核探測Oled特征結(jié)構(gòu)測量,表面粗糙度外延片表面缺陷檢測硅片外延表面缺陷檢測散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制)生物、醫(yī)藥新技術(shù),微流控器件微結(jié)構(gòu)均勻性缺陷,表面粗糙度移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開發(fā)本作品采用重疊平均移相干涉算法,保證了亞納米量級的測量精度;優(yōu)化軟件控制系統(tǒng),使每次檢測時間壓縮到10秒鐘以內(nèi),同時完善的數(shù)據(jù)評價系統(tǒng)為用戶評價產(chǎn)品面形質(zhì)量提供了方便。LED光源通過多珍孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。3D形貌輪廓儀出廠價NanoX-80003D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)3D...
輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖)。這樣,標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表于...