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氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清零時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價(jià)氦檢儀的主要性能指標(biāo)。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下:(1)對人體和自然環(huán)境沒有毒害;(2)不能燃燒,作業(yè)安全;(3)惰性氣體,和被檢測對象不會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng);(4)分子直徑和質(zhì)量小,容易穿過微小縫隙,便于檢漏;(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài),不會(huì)堵住微漏孔;(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣;(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm,容易定點(diǎn)查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多,向真空腔體噴氦氣檢漏時(shí)要從上往下依次操作,否則不利于判定漏點(diǎn)所在。當(dāng)腔體構(gòu)造復(fù)雜,或漏率極小時(shí),可針對重點(diǎn)部位用塑料袋套住,然后向塑料袋內(nèi)部充入氦氣,實(shí)現(xiàn)對特定重點(diǎn)部位的檢漏。專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。南京無損氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺(tái)
氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn):①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),電壓過低儀器啟動(dòng)困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過高會(huì)燒壞電源,嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵,應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運(yùn)行過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中,若搬動(dòng)檢漏儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng),保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。蘇州自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。對產(chǎn)品檢漏前首先要對工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解,了解有哪些漏源,才能快,準(zhǔn),狠的完成檢漏。
氦檢儀機(jī)械泵故障及處理:1、機(jī)械泵不動(dòng)作,檢查項(xiàng)目有:氦檢儀電源電壓是否正常,開關(guān)是否打開,繞組是否斷路或接地,電機(jī)是否過熱(泵冷卻后是否能啟動(dòng))。2、機(jī)械泵聲音異常,檢查油位是否合適,油質(zhì)是否變壞,油溫是否<10℃,油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出,更換油霧過濾器)。氦檢儀質(zhì)譜室故障及處理:1、燈絲無法正常啟動(dòng),在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后,若燈絲仍無法發(fā)射離子流,則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍,檢查離子源航空插座與接線柱是否開路,若開路,需要更換燈絲,若不開路,檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通,消除短路現(xiàn)象。2、本底信號處于雜亂無章的波動(dòng)狀態(tài)且大小遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過氦檢儀故障自身的本底噪聲,需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決,只需對故障進(jìn)行定位,交由維修處理。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。
氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度,但平常實(shí)際使用時(shí)其靈敏度是低于該參數(shù)的,稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中,氦檢儀的檢漏方法也較多,有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式,可結(jié)合實(shí)際情況靈活運(yùn)用。如較簡單常用的噴吹法,與鹵素氦檢儀的真空法類似,將被檢件抽真空,調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通,隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣,如果存在漏洞,噴吹一定時(shí)間后,氦檢儀即可發(fā)出信號。氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。南京小型氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺(tái)
氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得比較多的檢漏儀器。南京無損氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺(tái)
在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu),有的體積很大,達(dá)幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達(dá)幾公里,焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達(dá)數(shù)十公里,必須投人很大力量對設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏,所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。南京無損氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺(tái)