6.2.1潔凈室（區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。6.2.2不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點(diǎn)，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。6.2.4送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機(jī)，再啟動回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)；關(guān)閉時聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。6.2.5非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。對于不安裝過濾器的風(fēng)口可按綜合效能普通通風(fēng)空調(diào)風(fēng)口風(fēng)量測試的方法進(jìn)行。上海電子廠房環(huán)境檢測值得推薦

潔凈室因其用途、氣流流型的不同，可分為各種不同冠名的潔凈室。潔凈室按用途的不同可分為工業(yè)潔凈室、生物潔凈室。工業(yè)潔凈室是以控制微粒為主要對象的潔凈室，通常適用于微電子產(chǎn)品生產(chǎn)、精密機(jī)械加工、電子元器件和某些電子產(chǎn)品組裝、精細(xì)化工、精密儀器儀表生產(chǎn)等[1]。潔凈室必須維持一定的正壓。不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差應(yīng)不小于4.9Pa，潔凈區(qū)與室外的靜壓差應(yīng)不小于9.8Pa。低級別的潔凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的（如沒有受控的微生物），更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。作為生產(chǎn)設(shè)施，凈室可以占據(jù)廠房很多位置江蘇潔凈工作臺檢測技術(shù)好蔚亞科技第三方檢測專業(yè)可行，性價比佳。

B.3.3.3.3飛行時間粒徑測量大粒子的尺寸可用飛行時間儀來測量?？諝鈽颖境槿藘x器,經(jīng)噴嘴進(jìn)人一個局部真空區(qū),空氣因膨脹而加速,測量在真空區(qū)進(jìn)行?？諝鈽颖局械乃辛Ｗ泳跍y量區(qū)加速,粒子的加速度與粒子質(zhì)量成反比。利用測量點(diǎn)的風(fēng)速與粒子速度兩者的關(guān)系,可測定粒子的空氣動力學(xué)直徑。知道環(huán)境與測量區(qū)之間氣壓的壓差,可直接計算出風(fēng)速。根據(jù)粒子在兩束激光間的飛行時間測定粒子速度。飛行時間儀可測量大到20μm粒子的空氣動力學(xué)直徑,粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計數(shù)器測量相同;確定粒徑范圍的方法也與離散粒子計數(shù)器相同。

1工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)只布置必要的工藝設(shè)備，以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下，對空氣潔凈度要求嚴(yán)格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房，空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置。3潔凈室內(nèi)對空氣潔凈度要求嚴(yán)格的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)，易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。4應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線，并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級房間之間聯(lián)系頻繁時，宜設(shè)有防止污染的措施，如氣閘室、傳遞窗等。6應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口，物料傳遞路線應(yīng)極短，物料進(jìn)人潔凈室（區(qū)）之前應(yīng)進(jìn)行清潔處理。潔凈室檢測不僅是技術(shù)活動，也是一項(xiàng)管理活動。

B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點(diǎn)數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量，測點(diǎn)數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點(diǎn)。每只過濾器或每臺風(fēng)機(jī)-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個測點(diǎn)?？墒褂密浐熥钃鯇蜗蛄鞯母蓴_。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點(diǎn)的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點(diǎn)而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時間。B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點(diǎn)數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量，測點(diǎn)數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點(diǎn)。每只過濾器或每臺風(fēng)機(jī)-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個測點(diǎn)。可使用軟簾阻擋對單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點(diǎn)的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點(diǎn)而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時間。亂流非單向流潔凈室凡不符合單向流定義的氣流的潔凈室。混合流潔凈室：單向流和非單向的氣流的潔凈室。上海電子廠房環(huán)境檢測值得推薦

單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動，并且在斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單向潔凈室。上海電子廠房環(huán)境檢測值得推薦

4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房內(nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列情況下應(yīng)進(jìn)行分隔:1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類,甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間,或有防火分隔要求者。2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時。3生產(chǎn)聯(lián)系少,并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段之間。4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下,潔凈廠房內(nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施的布置,應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。固定技術(shù)設(shè)施包括送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等。上海電子廠房環(huán)境檢測值得推薦