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皮米精度激光干涉儀深度測(cè)量

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-05-04

數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè):數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測(cè)量。它可對(duì)任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量,其精度達(dá)±1。新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測(cè)量時(shí)間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線(xiàn),知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。 在測(cè)量軟件WAVE的FFT圖中,實(shí)時(shí)顯示位移數(shù)據(jù),可快速簡(jiǎn)便地進(jìn)行頻譜分析,以識(shí)別共振頻率!皮米精度激光干涉儀深度測(cè)量

頻率影響

1.當(dāng)頻率自額定值偏離±10%(但對(duì)相位表和功率因數(shù)表為±2%,對(duì)單相無(wú)功功率表為±5%)時(shí),由此所引起的儀表指示值的改變應(yīng)不超過(guò)表7中的規(guī)定值。如果在儀表上注明額定頻率范圍,則在此范圍內(nèi)的任一頻率下,儀表的基本誤差都應(yīng)不超過(guò)規(guī)定值。如果在儀表上除注明額定頻率外,還注明有擴(kuò)大的頻率范圍時(shí),則在此范圍內(nèi)的任一頻率下,儀表的基本誤差應(yīng)不超過(guò)表7中規(guī)定值的兩倍。儀表輔助電路的電源,當(dāng)其頻率自額定值偏離±2%時(shí),由此引起的儀表指示值的改變,應(yīng)不超過(guò)表7規(guī)定值的一半。

2.檢驗(yàn)頻率的影響時(shí),應(yīng)遵守有關(guān)規(guī)定(對(duì)頻率的規(guī)定除外),且應(yīng)除去變差影響。試驗(yàn)是在標(biāo)度尺的幾何中心附近和上量限附近的兩點(diǎn)分度線(xiàn)上進(jìn)行。相位表在額定電流下進(jìn)行,功率表在額定功率因數(shù)下進(jìn)行。 翹曲度激光干涉儀形貌測(cè)量除基頻外,還確定了其第二次和第四次諧波。

(3)非接觸測(cè)頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業(yè)對(duì)此已經(jīng)提出迫切要求,這是今后坐標(biāo)測(cè)量機(jī)發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。目前接觸式測(cè)頭已完全被國(guó)外所壟斷,非接觸測(cè)頭還沒(méi)有發(fā)展成熟,我們有參與競(jìng)爭(zhēng)的機(jī)遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制,難以有突破性進(jìn)展,但可在原理創(chuàng)新上下功夫。應(yīng)該突破0.1~0.5μm分辨率。(5)新器件,新材料。過(guò)去,科研評(píng)價(jià)體系存在偏重于整機(jī)和系統(tǒng),忽視材料和器件的趨向。新的突破點(diǎn)可能出現(xiàn)在新光源、新型高頻探測(cè)器。目前探測(cè)器的響應(yīng)頻率只有10的9次方,而光頻高達(dá)10的14次方,目前干涉儀實(shí)際上是起著混頻器的作用,適應(yīng)探測(cè)器的不足(如果探測(cè)器的響應(yīng)果真能超過(guò)光頻,干涉儀也就沒(méi)有用了)。如果探測(cè)器的性能得到顯著提高,對(duì)于通訊也是很大的突破。

不同變比電流互感器。這種型號(hào)的電流互感器具有同一個(gè)鐵心和一次繞組,而二次繞組則分為兩個(gè)匝數(shù)不同、各自獨(dú)自的繞組,以滿(mǎn)足同一負(fù)荷電流情況下不同變比、不同準(zhǔn)確度等級(jí)的需要,例如在同一負(fù)荷情況下,為了保證電能計(jì)量準(zhǔn)確,要求變比較小一些(以滿(mǎn)足負(fù)荷電流在一次額定值的2/3左右),準(zhǔn)確度等級(jí)高一些(如1K1.1K2為200/5.0.2級(jí));而用電設(shè)備的繼電保護(hù),考慮到故障電流的保護(hù)系數(shù)較大,則要求變比較大一些,準(zhǔn)確度等級(jí)可以稍低一點(diǎn)(如2K1.2K2為300/5.1級(jí))。 中國(guó)物聯(lián)網(wǎng)校企聯(lián)盟認(rèn)為,傳感器的存在和發(fā)展。

按一次繞組對(duì)地運(yùn)行狀態(tài)分一次繞組接地的電壓互感器:?jiǎn)蜗嚯妷夯ジ衅饕淮卫@組的末端或三相電壓互感器一次繞組的中性點(diǎn)直接接地;一次繞組不接地的電壓互感器:?jiǎn)蜗嚯妷夯ジ衅饕淮卫@組兩端子對(duì)地都是絕緣的;三相電壓互感器一次繞組的各部分,包括接線(xiàn)端子對(duì)地都是絕緣的,而且絕緣水平與額定絕緣水平一致。按磁路結(jié)構(gòu)分單級(jí)式電壓互感器:一次繞組和二次繞組 (根據(jù)需要可設(shè)多個(gè)二次繞組同繞在一個(gè)鐵芯上,鐵芯為地電位。我國(guó)在及以下電壓等級(jí)均用單級(jí)式;串級(jí)式電壓互感器:一次繞組分成幾個(gè)匝數(shù)相同的單元串接在相與地之間,每一單元有各自獨(dú)自的鐵芯,具有多個(gè)鐵芯,且鐵芯帶有高電壓,二次繞組(根據(jù)需要可設(shè)多個(gè)二次繞組處在較為末一個(gè)與地連接的單元。我國(guó)在電壓等級(jí)常用此種結(jié)構(gòu)型式;組合式互感器:由電壓互感器和電流互感器組合并形成一體的互感器稱(chēng)為組合式互感器,也有把與組合電器配套生產(chǎn)的互感器稱(chēng)為組合式互感器。    晶圓表面測(cè)量可以在各種各樣的目標(biāo)上進(jìn)行測(cè)量!翹曲度激光干涉儀形貌測(cè)量

振動(dòng)分析有助于檢測(cè)共振頻率。皮米精度激光干涉儀深度測(cè)量

按相數(shù)分絕大多數(shù)產(chǎn)品是單相的,因?yàn)殡妷夯ジ衅魅萘啃?,器身體積不大,三相高壓套管間的內(nèi)外絕緣要求難以滿(mǎn)足,所以只有3-15kV的產(chǎn)品有時(shí)采用三相結(jié)構(gòu)。按電壓變換原理分電磁式電壓互感器:根據(jù)電磁感應(yīng)原理變換電壓,原理與基本結(jié)構(gòu)和變壓器完全相似,我國(guó)多在及以下電壓等級(jí)采用;電容式電壓互感器:由電容分壓器、補(bǔ)償電抗器、中間變壓器、阻尼器及載波裝置防護(hù)間隙等組成,用在中性點(diǎn)接地系統(tǒng)里作電壓測(cè)量、功率測(cè)量、繼電防護(hù)及載波通訊用;光電式電壓互感器:通過(guò)光電變換原理以實(shí)現(xiàn)電壓變換,還在研制中。按使用條件分戶(hù)內(nèi)型電壓互感器:安裝在室內(nèi)配電裝置中,一般用在及以下電壓等級(jí);戶(hù)外型電壓互感器:安裝在戶(hù)外配電裝置中,多用在及以上電壓等級(jí)。皮米精度激光干涉儀深度測(cè)量