干涉儀技術(shù)參數(shù)：5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：1.線性：0.5ppm.2.測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）3.線性分辨力：0.001um.4.偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5.比較大范圍：800角秒6.滾動(dòng)角精度：1.0角秒7.直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8.直線度比較大范圍：500um9.垂直度精度：1角秒10.溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。     晶圓表面測(cè)量可以在各種各樣的目標(biāo)上進(jìn)行測(cè)量。模切尺寸激光干涉儀色散共焦

5指針不應(yīng)彎曲，與標(biāo)度盤表面間的距離要適當(dāng)。對(duì)裝有反射鏡式讀數(shù)裝置的儀表應(yīng)不大于(0.02L+1)MM；其余儀表應(yīng)不大于(0.01L+1)MM。指針與標(biāo)度尺在同一水平面上的儀表，其指針前列與標(biāo)度尺邊緣的間隙應(yīng)不超過(0.01L+0.8)MM。其中L是標(biāo)度尺長(zhǎng)度，MM。刀形和絲形指針的前列至少應(yīng)蓋住標(biāo)度尺上較短分度線的1/2，矛形指針可為1/2～3/4；

6檢查有無封印，外殼密封是否良好。三相儀表應(yīng)在對(duì)稱電壓和平衡負(fù)載的條件下檢驗(yàn)。三相系統(tǒng)中每一個(gè)線電壓或相電壓以及電流與系統(tǒng)中相應(yīng)量的平均值之差均不應(yīng)大于1%。各個(gè)相電流與對(duì)應(yīng)相電壓的相位差之間的差值不大于2°。 激光干涉儀金線檢測(cè)測(cè)試齒條齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)中，行星齒輪機(jī)械參數(shù)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

擴(kuò)散型半導(dǎo)體應(yīng)變片這種應(yīng)變片是將P型雜質(zhì)擴(kuò)散到一個(gè)高電阻N型硅基底上，形成一層極薄的P型導(dǎo)電層，然后用超聲波或熱壓焊法焊接引線而制成（圖2）。它的優(yōu)點(diǎn)是穩(wěn)定性好，機(jī)械滯后和蠕變小，電阻溫度系數(shù)也比一般體型半導(dǎo)體應(yīng)變片小一個(gè)數(shù)量級(jí)。缺點(diǎn)是由于存在P-N結(jié)，當(dāng)溫度升高時(shí)，絕緣電阻大為下降。半導(dǎo)體應(yīng)變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結(jié)尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。是一種利用半導(dǎo)體單晶硅的壓阻效應(yīng)制成的一種敏感元件。新型固態(tài)壓阻式傳感器中的敏感元件硅梁和硅杯等就是用擴(kuò)散法制成的。

電力系統(tǒng)為了傳輸電能，往往采用交流電壓、大電流回路把電力送往用戶，無法用儀表進(jìn)行直接測(cè)量。互感器的作用，就是將交流電壓和大電流按比例降到可以用儀表直接測(cè)量的數(shù)值，便于儀表直接測(cè)量，同時(shí)為繼電保護(hù)和自動(dòng)裝置提供電源。電力系統(tǒng)用互感器是將電網(wǎng)高電壓、大電流的信息傳遞到低電壓、小電流二次側(cè)的計(jì)量、測(cè)量?jī)x表及繼電保護(hù)、自動(dòng)裝置的一種特殊變壓器，是一次系統(tǒng)和二次系統(tǒng)的聯(lián)絡(luò)元件，其一次繞組接入電網(wǎng)，二次繞組分別與測(cè)量?jī)x表、保護(hù)裝置等互相連接?；ジ衅髋c測(cè)量?jī)x表和計(jì)量裝置配合，可以測(cè)量一次系統(tǒng)的電壓、電流和電能；與繼電保護(hù)和自動(dòng)裝置配合，可以構(gòu)成對(duì)電網(wǎng)各種故障的電氣保護(hù)和自動(dòng)控制?；ジ衅餍阅艿暮脡模苯佑绊懙诫娏ο到y(tǒng)測(cè)量、計(jì)量的準(zhǔn)確性和繼電器保護(hù)裝置動(dòng)作的可靠性。  用于齒輪箱和驅(qū)動(dòng)動(dòng)力傳動(dòng)系的機(jī)械負(fù)載測(cè)試的運(yùn)動(dòng)跟蹤。

按相數(shù)分絕大多數(shù)產(chǎn)品是單相的，因?yàn)殡妷夯ジ衅魅萘啃?，器身體積不大，三相高壓套管間的內(nèi)外絕緣要求難以滿足，所以只有3-15kV的產(chǎn)品有時(shí)采用三相結(jié)構(gòu)。按電壓變換原理分電磁式電壓互感器：根據(jù)電磁感應(yīng)原理變換電壓，原理與基本結(jié)構(gòu)和變壓器完全相似，我國(guó)多在及以下電壓等級(jí)采用；電容式電壓互感器：由電容分壓器、補(bǔ)償電抗器、中間變壓器、阻尼器及載波裝置防護(hù)間隙等組成，用在中性點(diǎn)接地系統(tǒng)里作電壓測(cè)量、功率測(cè)量、繼電防護(hù)及載波通訊用；光電式電壓互感器：通過光電變換原理以實(shí)現(xiàn)電壓變換，還在研制中。按使用條件分戶內(nèi)型電壓互感器：安裝在室內(nèi)配電裝置中，一般用在及以下電壓等級(jí)；戶外型電壓互感器：安裝在戶外配電裝置中，多用在及以上電壓等級(jí)。實(shí)時(shí)通訊接口：HSSL，AquadB和Sin / Cos。粗糙度激光干涉儀位移

樣品和細(xì)胞的擴(kuò)張/收縮 長(zhǎng)度相對(duì)變化（ΔL）。模切尺寸激光干涉儀色散共焦

外觀檢查規(guī)定1表盤上或外殼上至少應(yīng)有下述標(biāo)志符號(hào)：A.儀表名稱或被測(cè)之量的標(biāo)志符號(hào)；B.型號(hào)；C.系別符號(hào)；D.準(zhǔn)確度等級(jí)；E.廠名或廠標(biāo)；F.制造標(biāo)準(zhǔn)號(hào)；G.制造年月或出廠編號(hào)；H.電流種類或相數(shù)，三相儀表中測(cè)量機(jī)構(gòu)的元件數(shù)量；I.正常工作位置；J.互感器的變比(指與互感器聯(lián)用的儀表)；K.定值導(dǎo)線值(或符號(hào))和分流器額定電壓降值(對(duì)低量限電壓表的要求)。2儀表的端鈕和轉(zhuǎn)換開關(guān)上應(yīng)有用途標(biāo)志；3從外表看，零部件完整，無松動(dòng)，無裂縫，無明顯殘缺或污損。當(dāng)傾斜或輕搖儀表時(shí)，內(nèi)部無撞擊聲；4向左右兩方向旋動(dòng)機(jī)械調(diào)零器，指示器應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活，左右對(duì)稱；       模切尺寸激光干涉儀色散共焦