利用不同構(gòu)形的彈性敏感元件可測量各種物體的應(yīng)力、應(yīng)變、壓力、扭矩、加速度等機(jī)械量。半導(dǎo)體應(yīng)變片與電阻應(yīng)變片(見電阻應(yīng)變片相比，具有靈敏系數(shù)高（約高 50～100倍）、機(jī)械滯后小、體積小、耗電少等優(yōu)點。P型和N型硅的靈敏系數(shù)符號相反，適于接成電橋的相鄰兩臂測量同一應(yīng)力。早期的半導(dǎo)體應(yīng)變片采用機(jī)械加工、化學(xué)腐蝕等方法制成，稱為體型半導(dǎo)體應(yīng)變片。它的缺點是電阻和靈敏系數(shù)的溫度系數(shù)大、非線性大和分散性大等。這曾限制了它的應(yīng)用和發(fā)展。自70年代以來，隨著半導(dǎo)體集成電路工藝的迅速發(fā)展，相繼出現(xiàn)擴(kuò)散型、外延型和薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變片，上述缺點得到一定克服。半導(dǎo)體應(yīng)變片主要應(yīng)用于飛機(jī)、導(dǎo)彈、車輛、船舶、機(jī)床、橋梁等各種設(shè)備的機(jī)械量測量。提供： 反射器表面誤差，s（Φ）。 XY-跳動運動誤差，εX（Φ）和εy（Φ）。東莞激光干涉儀

阻尼時間

1 熱電系、熱線系及靜電系儀表，吊絲式儀表和指針長度大于150MM 的儀表，其可動部分的阻尼時間應(yīng)不超過6S。其余的儀表應(yīng)不超過4S。當(dāng)被測量突然改變時，儀表指示器的前列次偏轉(zhuǎn)值與穩(wěn)定后的偏轉(zhuǎn)值之比應(yīng)不大于1.5。凡外電路電阻有規(guī)定范圍時，當(dāng)電阻在這個范圍內(nèi)變動時，其阻尼時間均應(yīng)滿足要求。

2 測定儀表指示器的阻尼時間時，應(yīng)遵守規(guī)定。測定阻尼時間時，應(yīng)自被測之量開始改變(或放回指示器)時起，至指示器離結(jié)尾靜止位置不大于標(biāo)度尺長度1%時止。在測定阻尼時間的同時，讀取指示器前列次偏轉(zhuǎn)值與穩(wěn)定后的偏轉(zhuǎn)值，然后求出其比值。測定阻尼時間的具體規(guī)定如下：A.單向標(biāo)度尺儀表——自接入被測量至指示器偏轉(zhuǎn)至標(biāo)度尺幾何中心附近時測定；B.雙向?qū)ΨQ標(biāo)度尺儀表——自斷開相當(dāng)于標(biāo)度尺最大值的被測量時測定；C.雙向非對稱標(biāo)度尺儀表——自斷開或接通相當(dāng)于標(biāo)度尺全長一半的被測量時測定；D.比率表和無機(jī)械零位標(biāo)度尺儀表——自改變被測量使指示器由始點移至標(biāo)度尺幾何中心附近時測定。也允許接入約相當(dāng)于標(biāo)度尺幾何中心的被測量，再將指示器用機(jī)械方法移至標(biāo)度尺的始點或終點，然后放回指示器的方法測定。測定阻尼時間時應(yīng)測三次，取其平均值。 東莞激光干涉儀在環(huán)境條件下懸臂的共振頻率，不施加壓電致動器的任何振蕩。

高精度。目前半導(dǎo)體工藝的典型線寬為0.25μm，并正向0.18μm過渡，2009年的預(yù)測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3，那么就要求10nm量級的精度，而且晶片尺寸還在增大，達(dá)到300mm。這就意味著測量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方，相應(yīng)的激光穩(wěn)頻精度應(yīng)該是10的-9次方數(shù)量級。

高速度。目前加工機(jī)械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上，上世紀(jì)80年代以前開發(fā)研制的儀器已不適應(yīng)市場的需求。例如惠普公司的干涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領(lǐng)，其原因是后者的速度達(dá)到了1m/sec。

薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變片

這種應(yīng)變片是利用真空沉積技術(shù)將半導(dǎo)體材料沉積在帶有絕緣層的試件上或藍(lán)寶石上制成的。它通過改變真空沉積時襯底的溫度來控制沉積層電阻率的高低，從而控制電阻溫度系數(shù)和靈敏度系數(shù)。因而能制造出適于不同試件材料的溫度自補(bǔ)償薄膜應(yīng)變片。薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變片吸收了金屬應(yīng)變片和半導(dǎo)體應(yīng)變片的優(yōu)點，并避免了它的缺點，是一種較理想的應(yīng)變片。

外延型半導(dǎo)體應(yīng)變片

這種應(yīng)變片是在多晶硅或藍(lán)寶石的襯底上外延一層單晶硅而制成的。它的優(yōu)點是取消了P-N結(jié)隔離，使工作溫度大為提高(可達(dá)300℃以上)。 在三個直徑為400、315和200μm的金屬圓筒上進(jìn)行輪廓測量。

電測量指示儀表的分類可分為：（1）按相別分：單相、三相三線、三相四線等。（2）按功能及用途分：有功電表、無功電表、比較大需量表、復(fù)費率電表、多功能電表、銅損表、鐵損表等。（3）按工作原理分：感應(yīng)式、電子式、機(jī)電式等。電力系統(tǒng)各類電表的技術(shù)要求（1）接入中注點絕緣系統(tǒng)的電能計量裝置，應(yīng)采用三相三線有功、無功電表。接入非中性點絕緣系統(tǒng)的電能計量裝置，應(yīng)采用三相四線有功、無功電表或3只感應(yīng)式無止逆單相電表。（2）接入中性點絕緣系統(tǒng)的3臺電壓互感器，35kV及以上的宜采用Y/y方式接線；35kV以下的宜采用V/V方式接線。接入非中性點絕緣系統(tǒng)的3臺電壓互感器，宜采用Y0/y0方式接線。其一次側(cè)接地方式和系統(tǒng)接地方式相一致。（3）低壓供電，負(fù)荷電流為50A 及以下時，宜采用直接接入式電表；負(fù)荷電流為50A以上時，宜采用經(jīng)電流互感器接入式的接線方式。（4）對三相三線制接線的電能計量裝置，其2臺電流互感器二次繞組與電表之間宜采用四線連接。對三相四線制連接的電能計量裝置，其3臺電流互感器二次繞組與電表之間宜采用六線連接。緊湊，適用于設(shè)備集成。天津激光干涉儀測量

基于壓電的定位器（頂部）只在x軸上移動（5 nm步長）。東莞激光干涉儀

激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機(jī)床:雙軸定位精度的檢測及其自動補(bǔ)償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機(jī)床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。數(shù)控機(jī)床動態(tài)性能檢測利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。東莞激光干涉儀

上海岱珂機(jī)電設(shè)備有限公司依托可靠的品質(zhì)，旗下品牌岱珂機(jī)電以高質(zhì)量的服務(wù)獲得廣大受眾的青睞。是具有一定實力的儀器儀表企業(yè)之一，主要提供光譜共焦傳感器，高精度3D測量系統(tǒng)，涂層厚度檢測傳感器，同軸激光位移傳感器等領(lǐng)域內(nèi)的產(chǎn)品或服務(wù)。我們強(qiáng)化內(nèi)部資源整合與業(yè)務(wù)協(xié)同，致力于光譜共焦傳感器，高精度3D測量系統(tǒng)，涂層厚度檢測傳感器，同軸激光位移傳感器等實現(xiàn)一體化，建立了成熟的光譜共焦傳感器，高精度3D測量系統(tǒng)，涂層厚度檢測傳感器，同軸激光位移傳感器運營及風(fēng)險管理體系，累積了豐富的儀器儀表行業(yè)管理經(jīng)驗，擁有一大批專業(yè)人才。公司坐落于上海市奉賢區(qū)泰葉路159弄33號，業(yè)務(wù)覆蓋于全國多個省市和地區(qū)。持續(xù)多年業(yè)務(wù)創(chuàng)收，進(jìn)一步為當(dāng)?shù)亟?jīng)濟(jì)、社會協(xié)調(diào)發(fā)展做出了貢獻(xiàn)。