測控技術(shù)與儀器優(yōu)先領(lǐng)域

在基礎(chǔ)研究的初期，對于能否有突破性進展是很難預(yù)測的。但是，當已經(jīng)取得突破性進展時，則需要有一個轉(zhuǎn)化機制以進入市場。

（1）納米溯源技術(shù)和系統(tǒng)。

(2)介入安裝和制造的坐標跟蹤測量系統(tǒng)。

關(guān)鍵理論和技術(shù)：超半球反射器(n=2或在機構(gòu)上創(chuàng)新)，快速、多路干涉儀(頻差3～5兆)，二維精密跟蹤測角系統(tǒng)(0.2″～0.5″)，通用信號處理系統(tǒng)(工作頻率5兆)，無導(dǎo)軌半導(dǎo)體激光測量系統(tǒng)(分辨率1μm)，熱變形仿真，力變形仿真。 坐標測量機軸位置捕獲?；葜菁す飧缮鎯x厚度測量

干涉儀注意事項

1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。2、在移動儀器時，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進行移動。3、儀器的光學(xué)零件在不用時，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當小心擦拭，利用科學(xué)的方法進行清潔。5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應(yīng)當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。6、在使用時應(yīng)避免強旋、硬扳等情況，合理恰當?shù)恼{(diào)整部件。7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油。 測量激光干涉儀對每個樣品旋轉(zhuǎn)，只要安裝了反射器和傳感器且對齊良好，就可使用多探頭誤差分離技術(shù)處理原始干涉測量數(shù)據(jù)。

1、一次線圈串聯(lián)在電路中，并且匝數(shù)很少，因此，一次線圈中的電流完全取決于被測電路的負荷電流．而與二次電流無關(guān)；2、電流互感器二次線圈所接儀表和繼電器的電流線圈阻抗都很小，所以正常情況下，電流互感器在近于短路狀態(tài)下運行。電流互感器一、二次額定電流之比，稱為電流互感器的額定互感比：kn=I1n/I2n因為一次線圈額定電流I1n己標準化，二次線圈額定電流I2n統(tǒng)一為5（1或0.5）安，所以電流互感器額定互感比亦已標準化。kn還可以近似地表示為互感器一、二次線圈的匝數(shù)比，即kn≈kN=N1/N2式中N1.N2為一、二線圈的匝數(shù)。

檢驗周期規(guī)定

A.控制盤和配電盤儀表的定期檢驗應(yīng)與該儀表所連接的主要設(shè)備的大修日期一致，不應(yīng)延誤。但主要設(shè)備主要線路的儀表應(yīng)每年檢驗一次，其它盤的儀表每四年至少檢驗一次；

B.對運行中設(shè)備的控制盤儀表的指示發(fā)生疑問時，可用標準儀表在其工作點上用比較法進行核對；

C.可攜式儀表(包括臺表)的檢驗，每年至少一次，常用的儀表每半年至少一次。經(jīng)兩次以上檢驗，證明質(zhì)量好的儀表，可以延長檢驗期一倍。D.萬用電表、鉗形表每四年至少檢驗一次。兆歐表和接地電阻測定器每二年至少檢驗一次，但用于高壓電路使用的鉗形表和作吸收比用的兆歐表每年至少檢驗一次。 傳感器頭適用于極端環(huán)境： ? 低溫和高溫（比較高450°C），UHV兼容性， ? 強輻射（高達10MGy）和高磁場。

利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何干涉儀路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關(guān)的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長（～10-7米）。所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。分析電動機在不同轉(zhuǎn)速下的振動。浦東新區(qū)3D激光干涉儀

不穩(wěn)定的偏航和俯仰測量。惠州激光干涉儀厚度測量

干涉儀技術(shù)參數(shù)：5D/6D標準型：1.線性：0.5ppm.2.測量范圍：40米（1D可選80米）3.線性分辨力：0.001um.4.偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5.比較大范圍：800角秒6.滾動角精度：1.0角秒7.直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8.直線度比較大范圍：500um9.垂直度精度：1角秒10.溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。 惠州激光干涉儀厚度測量