干涉儀是根據(jù)光的干涉原理制成的一種儀器。分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類。其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息， 從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。干涉儀并不僅只局限于光干涉儀。干涉儀在天文學(xué)(Thompson et al,2001)，光學(xué)，工程測量，海洋學(xué)，地震學(xué)，波譜分析，量子物理實(shí)驗(yàn)，遙感，雷達(dá)等等精密測量領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用（Hariharan，2007）。根據(jù)光干涉原理制成的儀器。所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。使用干涉測量法進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)誤差補(bǔ)償。光電激光干涉儀檢測

(4)計(jì)算機(jī)輔助測量理論。信號(hào)處理系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化、兼容和集成。例如，目前多數(shù)采用ISA總線、IEEE488口，今后計(jì)算機(jī)可能取消ISA總線，用于筆記本電腦的USB接口將廣泛應(yīng)用。過去，中國生產(chǎn)的儀器滿足于數(shù)字顯示，沒有數(shù)據(jù)交換接口，難以進(jìn)入國際市場。國外生產(chǎn)的儀器普遍配備IEEE488(GPIB)口。RS232：目前有可能成為替代物的高性能標(biāo)準(zhǔn)是USB、IEEE1394和VXI。在此轉(zhuǎn)折期為我們提供了機(jī)遇。目前虛擬儀器的工作頻段在千赫數(shù)量級(jí)，對(duì)于干涉信號(hào)處理顯得太低，可以采取聯(lián)合互補(bǔ)的方法形成模塊系列，同時(shí)降低成本，從總體上提高研發(fā)工作的效率。根據(jù)已有基礎(chǔ)，發(fā)展特長，有利于克服重復(fù)研究。安徽電子激光干涉儀不穩(wěn)定的偏航和俯仰測量。

雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等的測量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。

測控技術(shù)與儀器優(yōu)先領(lǐng)域

在基礎(chǔ)研究的初期，對(duì)于能否有突破性進(jìn)展是很難預(yù)測的。但是，當(dāng)已經(jīng)取得突破性進(jìn)展時(shí)，則需要有一個(gè)轉(zhuǎn)化機(jī)制以進(jìn)入市場。

（1）納米溯源技術(shù)和系統(tǒng)。

(2)介入安裝和制造的坐標(biāo)跟蹤測量系統(tǒng)。

關(guān)鍵理論和技術(shù)：超半球反射器(n=2或在機(jī)構(gòu)上創(chuàng)新)，快速、多路干涉儀(頻差3～5兆)，二維精密跟蹤測角系統(tǒng)(0.2″～0.5″)，通用信號(hào)處理系統(tǒng)(工作頻率5兆)，無導(dǎo)軌半導(dǎo)體激光測量系統(tǒng)(分辨率1μm)，熱變形仿真，力變形仿真。 低電子噪聲和良好的光學(xué)穩(wěn)定性。

檢驗(yàn)周期規(guī)定

A.控制盤和配電盤儀表的定期檢驗(yàn)應(yīng)與該儀表所連接的主要設(shè)備的大修日期一致，不應(yīng)延誤。但主要設(shè)備主要線路的儀表應(yīng)每年檢驗(yàn)一次，其它盤的儀表每四年至少檢驗(yàn)一次；

B.對(duì)運(yùn)行中設(shè)備的控制盤儀表的指示發(fā)生疑問時(shí)，可用標(biāo)準(zhǔn)儀表在其工作點(diǎn)上用比較法進(jìn)行核對(duì)；

C.可攜式儀表(包括臺(tái)表)的檢驗(yàn)，每年至少一次，常用的儀表每半年至少一次。經(jīng)兩次以上檢驗(yàn)，證明質(zhì)量好的儀表，可以延長檢驗(yàn)期一倍。D.萬用電表、鉗形表每四年至少檢驗(yàn)一次。兆歐表和接地電阻測定器每二年至少檢驗(yàn)一次，但用于高壓電路使用的鉗形表和作吸收比用的兆歐表每年至少檢驗(yàn)一次。 軸的直徑為10毫米，以每分鐘2160轉(zhuǎn)（RPM）旋轉(zhuǎn)。翹曲度激光干涉儀彩色共焦技術(shù)

晶圓表面測量可以在各種各樣的目標(biāo)上進(jìn)行測量。光電激光干涉儀檢測

光束里的光子所擁有的能量與光的頻率成正比。假若金屬里的自由電子吸收了一個(gè)光子的能量，而這能量大于或等于某個(gè)與金屬相關(guān)的能量閾（閥）值（稱為這種金屬的逸出功），則此電子因?yàn)閾碛辛俗銐虻哪芰?，?huì)從金屬中逃逸出來，成為光電子；若能量不足，則電子會(huì)釋出能量，能量重新成為光子離開，電子能量恢復(fù)到吸收之前，無法逃逸離開金屬。增加光束的輻照度會(huì)增加光束里光子的“密度”，在同一段時(shí)間內(nèi)激發(fā)更多的電子，但不會(huì)使得每一個(gè)受激發(fā)的電子因吸收更多的光子而獲得更多的能量。換言之，光電子的能量與輻照度無關(guān)，只與光子的能量、頻率有關(guān)。光電激光干涉儀檢測