單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。更多的測量軸有助于更多的旋轉(zhuǎn)參數(shù)：偏心率，表面質(zhì)量， 傾斜誤差和徑向運動。傳感器激光干涉儀厚度測量

這些內(nèi)容不局限于一種技術(shù)方案，而是幾種不同技術(shù)方案中概括出來的共同點。如采用無導軌干涉儀，對跟蹤系統(tǒng)的要求可以降低；采用二維精密跟蹤測角系統(tǒng)在1M3測量范圍內(nèi)可以得到高精度；有了超半球反射鏡可以提高4路跟蹤方案的精度。在現(xiàn)場進行介入制造和裝配不能等待很長時間，力和熱變形的補償是必須的而且需要足夠快，現(xiàn)在的技術(shù)還有相當大的差距，所以這些進展是關(guān)鍵性的。應用范圍：新型并行機構(gòu)機床的鑒定，飛機裝配型架的鑒定，大型設(shè)備安裝，用于生物芯片精密機器人校準等。深圳激光干涉儀共焦技術(shù)IDS3010的分辨率，比低重量加速器，高一個數(shù)量級。

電力系統(tǒng)為了傳輸電能，往往采用交流電壓、大電流回路把電力送往用戶，無法用儀表進行直接測量?；ジ衅鞯淖饔茫褪菍⒔涣麟妷汉痛箅娏靼幢壤档娇梢杂脙x表直接測量的數(shù)值，便于儀表直接測量，同時為繼電保護和自動裝置提供電源。電力系統(tǒng)用互感器是將電網(wǎng)高電壓、大電流的信息傳遞到低電壓、小電流二次側(cè)的計量、測量儀表及繼電保護、自動裝置的一種特殊變壓器，是一次系統(tǒng)和二次系統(tǒng)的聯(lián)絡元件，其一次繞組接入電網(wǎng)，二次繞組分別與測量儀表、保護裝置等互相連接?；ジ衅髋c測量儀表和計量裝置配合，可以測量一次系統(tǒng)的電壓、電流和電能；與繼電保護和自動裝置配合，可以構(gòu)成對電網(wǎng)各種故障的電氣保護和自動控制。互感器性能的好壞，直接影響到電力系統(tǒng)測量、計量的準確性和繼電器保護裝置動作的可靠性。

干涉儀主要特點

1.同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角2.設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器3.可選的無線遙控傳感器極長的控制距離可到25米4.可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性5.全套系統(tǒng)重量只15公斤，設(shè)計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架6.集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性等。8、激光干涉儀的光源——激光，具有g(shù)ao qiang度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。 檢測軸承誤差在±5μm之間，由軸承誤差引起。

“光伏效應”。指光照使不均勻半導體或半導體與金屬結(jié)合的不同部位之間產(chǎn)生電位差的現(xiàn)象。它首先是由光子（光波）轉(zhuǎn)化為電子、光能量轉(zhuǎn)化為電能量的過程；其次，是形成電壓過程。有了電壓，就像筑高了大壩，如果兩者之間連通，就會形成電流的回路。光伏發(fā)電，其基本原理就是“光伏效應”。太陽能**的任務就是要完成制造電壓的工作。因為要制造電壓，所以完成光電轉(zhuǎn)化的太陽能電池是陽光發(fā)電的關(guān)鍵。簡單來說就是在光作用下能使物體產(chǎn)生一定方向電動勢的現(xiàn)象。基于該效應的器件有光電池和光敏二極管、三極管。緊湊，適用于設(shè)備集成。段差激光干涉儀

對每個樣品旋轉(zhuǎn)，只要安裝了反射器和傳感器且對齊良好，就可使用多探頭誤差分離技術(shù)處理原始干涉測量數(shù)據(jù)。傳感器激光干涉儀厚度測量

電壓影響

1 當電壓自額定值偏離±10%(對比率表和由化學電源和交流電網(wǎng)作供電電源的兆歐表)、±15%(對整流系儀表和鉗形表)或±20%(對其它儀表)時，由此引起儀表指示值的改變應不超過規(guī)定值。儀表輔助電路用電源、由內(nèi)附手搖發(fā)電機作供電電源的兆歐表，當其電壓自額定值偏離±10%時，指示值改變應不超過表7 規(guī)定值的一半。指示值改變的表示方法與基本誤差表示方法相同。試驗在標度尺的幾何中心附近和上量限附近的兩點進行，整步表在同步點進行。如果在儀表上注明額定電壓范圍，則在此范圍內(nèi)的任一電壓下，儀表基本誤差應不超過規(guī)定值。

2 檢驗電壓影響時應遵守有關(guān)規(guī)定(對電壓的規(guī)定除外)，且應除去變差影響(可輕敲表殼)。檢驗相位表和功率因數(shù)表時，在額定電流下進行；檢驗功率表時在額定功率因數(shù)下進行。 傳感器激光干涉儀厚度測量