利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何干涉儀路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長（～10-7米）。所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。超長距離測量，齒輪傳動間隙測量。翹曲度激光干涉儀色散共焦

薄膜型半導體應變片

這種應變片是利用真空沉積技術將半導體材料沉積在帶有絕緣層的試件上或藍寶石上制成的。它通過改變真空沉積時襯底的溫度來控制沉積層電阻率的高低，從而控制電阻溫度系數(shù)和靈敏度系數(shù)。因而能制造出適于不同試件材料的溫度自補償薄膜應變片。薄膜型半導體應變片吸收了金屬應變片和半導體應變片的優(yōu)點，并避免了它的缺點，是一種較理想的應變片。

外延型半導體應變片

這種應變片是在多晶硅或藍寶石的襯底上外延一層單晶硅而制成的。它的優(yōu)點是取消了P-N結(jié)隔離，使工作溫度大為提高(可達300℃以上)。 廣州激光干涉儀膨脹計：熱膨脹和磁致伸縮測量。

工作原理：在供電用電的線路中，電流相差從幾安到幾萬安，電壓相差從幾伏到幾百萬伏。線路中電流電壓都比較高，如直接測量是非常危險的。為便于二次儀表測量需要轉(zhuǎn)換為比較統(tǒng)一的電流電壓，使用互感器起到變流變壓和電氣隔離的作用。顯示儀表大部分是指針式的電流電壓表，所以電流互感器的二次電流大多數(shù)是安培級的。隨著時代發(fā)展，電量測量大多已經(jīng)達到數(shù)字化，而計算機的采樣的信號一般為毫安級（0-5V、4-20mA等）。微型電流互感器二次電流為毫安級，主要起大互感器與采樣之間的橋梁作用。

體型半導體應變片這種半導體應變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結(jié)尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。體型半導體應變片可分為6種。①普通型：它適合于一般應力測量；②溫度自動補償型：它能使溫度引起的導致應變電阻變化的各種因素自動抵消，只適用于特定的試件材料；③靈敏度補償型：通過選擇適當?shù)囊r底材料（例如不銹鋼），并采用穩(wěn)流電路，使溫度引起的靈敏度變化極?。虎芨咻敵觯ǜ唠娮瑁┬停核淖柚岛芨撸?～10千歐）,可接成電橋以高電壓供電而獲得高輸出電壓，因而可不經(jīng)放大而直接接入指示儀表。⑤超線性型：它在比較寬的應力范圍內(nèi)，呈現(xiàn)較寬的應變線性區(qū)域，適用于大應變范圍的場合；⑥P-N組合溫度補償型：它選用配對的P型和N型兩種轉(zhuǎn)換元件作為電橋的相鄰兩臂，從而使溫度特性和非線性特性有較大改善。振動分析有助于檢測共振頻率。

激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床:雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。數(shù)控機床動態(tài)性能檢測利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。3軸：測量不穩(wěn)定的俯仰pitch和偏航運動yaw。浦東新區(qū)高精度激光干涉儀

晶圓表面測量可以在各種各樣的目標上進行測量。翹曲度激光干涉儀色散共焦

光束里的光子所擁有的能量與光的頻率成正比。假若金屬里的自由電子吸收了一個光子的能量，而這能量大于或等于某個與金屬相關的能量閾（閥）值（稱為這種金屬的逸出功），則此電子因為擁有了足夠的能量，會從金屬中逃逸出來，成為光電子；若能量不足，則電子會釋出能量，能量重新成為光子離開，電子能量恢復到吸收之前，無法逃逸離開金屬。增加光束的輻照度會增加光束里光子的“密度”，在同一段時間內(nèi)激發(fā)更多的電子，但不會使得每一個受激發(fā)的電子因吸收更多的光子而獲得更多的能量。換言之，光電子的能量與輻照度無關，只與光子的能量、頻率有關。翹曲度激光干涉儀色散共焦